$\require{mediawiki-texvc}$

연합인증

연합인증 가입 기관의 연구자들은 소속기관의 인증정보(ID와 암호)를 이용해 다른 대학, 연구기관, 서비스 공급자의 다양한 온라인 자원과 연구 데이터를 이용할 수 있습니다.

이는 여행자가 자국에서 발행 받은 여권으로 세계 각국을 자유롭게 여행할 수 있는 것과 같습니다.

연합인증으로 이용이 가능한 서비스는 NTIS, DataON, Edison, Kafe, Webinar 등이 있습니다.

한번의 인증절차만으로 연합인증 가입 서비스에 추가 로그인 없이 이용이 가능합니다.

다만, 연합인증을 위해서는 최초 1회만 인증 절차가 필요합니다. (회원이 아닐 경우 회원 가입이 필요합니다.)

연합인증 절차는 다음과 같습니다.

최초이용시에는
ScienceON에 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 로그인 (본인 확인 또는 회원가입) → 서비스 이용

그 이후에는
ScienceON 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 서비스 이용

연합인증을 활용하시면 KISTI가 제공하는 다양한 서비스를 편리하게 이용하실 수 있습니다.

로이 응용을 위한 비정질 In-Si-O 다층구조 특성 평가
Characterization of Amorphous In-Si-O Multilayer for Low Emissivity Applications 원문보기

전기전자재료학회논문지 = Journal of the Korean institute of electronic material engineers, v.27 no.8, 2014년, pp.483 - 485  

이영선 (청주대학교 전자공학과) ,  이상렬 (청주대학교 반도체공학과)

Abstract ▼ AI-Helper 아이콘AI-Helper

Transparent amorphous In-Si-O (ISO)/Ag/In-Si-O (ISO) has been reported for low emissivity (low-e) applications. Effective Si doping into the $In_2O_3$ matrix led to a completely amorphous ISO film as well as a low resistivity and a high optical transmittance. The optical and electrical pe...

주제어

#Low emissivity   #Multilayer   #Transparent conductive oxide   #Amorphous oxide semiconductor   #Ag embedded  

AI 본문요약
AI-Helper 아이콘 AI-Helper

* AI 자동 식별 결과로 적합하지 않은 문장이 있을 수 있으니, 이용에 유의하시기 바랍니다.

문제 정의

  • 본 연구는 비정질 산화물인 ISO를 이용하여 투명한 다층 박막을 증착하여 로이 유리로서 응용에 대한 연구를 진행하였다. 상온에서 증착한 ISO/Ag(15 nm)/ISO 다층 박막의 분석 결과 550 nm 파장 대에서 약 78%의 높은 투과율을 나타냈으며 1,000 nm 파장 대에서 약 22%의 낮은 투과율을 나타내었다.
  • 본 연구에서는 비정질 In-Si-O (ISO) 박막을 이용하여 로이 유리의 특성에 대하여 확인하였다.
본문요약 정보가 도움이 되었나요?

질의응답

핵심어 질문 논문에서 추출한 답변
로이 유리란? 이 문제에 대응하기 위하여 화석연료의 사용을 줄이고, 에너지 효율을 높이는 방안을 강구하고 있는데 건물의 에너지 손실을 줄이기 위해서 로이 유리 (low emissivity glass)의 이용이 확대되고 있다 [1,2]. 로이 유리는 산화물/금속/산화물 다층으로 이루어진 구조로서 가시광선 영역에서는 높은 투과율을 가지며 적외선 영역에서는 낮은 방사율 특성으로 인해 열을 차단하는 역할을 한다 [3,4]. 기존의 단일 구조로 이루어진 투명 전도막과는 달리 얇은 두께의 금속층이 투명 전도막 산화물 사이에 삽입한 구조로 적층되었을 때 반사 억제 (antireflection)효과로 인하여 광투과 특성이 특정 파장 대역에서 투과도가 큰 현상을 보이는 보고가 있다 [5,6].
로이 유리에 비정질 박막을 형성할 경우 결정질 박막에 비해 어떤 장점이 있는가? 기존에 연구되어진 로이 유리는 Al 또는 Ga이 도핑된 ZnO 박막을 이용하여 결정질에 따른 grain boundary, roughness, defect 등으로 Ag층 형성에 영향을 주었다. 하지만, 비정질 박막을 이용할 경우 기존의 결정질 박막일 때 보다 더 얇은 두께에서도 높은 전도성 및 저 방사율을 갖는 로이 유리를 제작할 수 있다. 본 연구에서는 비정질 In-Si-O (ISO) 박막을 이용하여 로이 유리의 특성에 대하여 확인하였다.
로이 유리에서 광투과 특성이 특정 파장 대역에서 투과도가 큰 현상을 보이는 이유는? 로이 유리는 산화물/금속/산화물 다층으로 이루어진 구조로서 가시광선 영역에서는 높은 투과율을 가지며 적외선 영역에서는 낮은 방사율 특성으로 인해 열을 차단하는 역할을 한다 [3,4]. 기존의 단일 구조로 이루어진 투명 전도막과는 달리 얇은 두께의 금속층이 투명 전도막 산화물 사이에 삽입한 구조로 적층되었을 때 반사 억제 (antireflection)효과로 인하여 광투과 특성이 특정 파장 대역에서 투과도가 큰 현상을 보이는 보고가 있다 [5,6]. 뿐만 아니라 비저항이 매우 낮은 금속인 Ag를 삽입하였기 때문에 투명 전극 분야에 응용되고 있다.
질의응답 정보가 도움이 되었나요?

참고문헌 (6)

  1. E. Hammarberg and A. Roos, Thin Solid Films, 442, 222 (2003). 

    상세보기 crossref

  2. M. Del Re, R. Gouttebaron, J. P. Dauchot, and M. Hecq, Surf. Coat. Techno., 180, 488 (2004). 

  3. J.C.C. Fan and F. J. Backner, Appl. Opt., 15, 1012 (1976). 

    상세보기 crossref

  4. J. H. Lee, S. H. Lee, K. L. Yoo, N. Y. Kim, and C. K. Hwangbo, Appl. Opt., 41, 3061 (2002). 

    상세보기 crossref

  5. J. J. Finley, 44th Annual Technical Conference Proceedings (Society of Vacuum Coaters, Philadelphia, USA, 2001) p. 193. 

  6. P. H. Berning, Appl. Opt., 22, 4127 (1983). 

    상세보기 crossref

저자의 다른 논문 :

관련 콘텐츠

오픈액세스(OA) 유형

GOLD

오픈액세스 학술지에 출판된 논문

이 논문과 함께 이용한 콘텐츠

저작권 관리 안내
섹션별 컨텐츠 바로가기

AI-Helper ※ AI-Helper는 오픈소스 모델을 사용합니다.

AI-Helper 아이콘
AI-Helper
안녕하세요, AI-Helper입니다. 좌측 "선택된 텍스트"에서 텍스트를 선택하여 요약, 번역, 용어설명을 실행하세요.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.

선택된 텍스트

맨위로