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NTIS 바로가기Applied science and convergence technology, v.23 no.4, 2014년, pp.179 - 186
Joo, Junghoon (Graduate Program of Plasma Convergence Engineering & Plasma Materials Research Center, Kunsan National University)
Fluid model based numerical simulation was carried out for an inductively coupled plasma assisted sputter deposition system. Power absorption, electron temperature and density distribution was modeled with drift diffusion approximation. Effect of an electrically conducting substrate was analyzed and...
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CFD-ACE+ user manual module II, 2013, 194.
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