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문제 정의
- 그러나, 제조사가 제공하고 있는 IPA 제거율은 고농도 조건(1,000 ppm)에서의 실험 결과이므로, 1 ppm 미만의 저농도 유기물을 제거해야 하는 초순수 제조 공정에서 적용 가능한 데이터가 아닐 수 있다. 따라서, 본 연구에서는 막 제조사에서 IPA 제거율을 제공하는 역삼투막 모듈(이후 초순수용 역삼투막이라고 표기)을 3개 선정하고 1 ppm 미만의 저농도 조건에서의 제거율을 평가하고자 한다. 저농도에서의 IPA 제거율(실험 결과)과 고농도에서의 IPA 제거율(제조사 제공 데이터)을 비교하여, 향후 초순수 제조공정 설계 시에 막 제조사에서 제공하는 유기물 데이터의 신뢰성을 검증하는 데 활용하고자 한다.
- 저농도에서의 IPA 제거율(실험 결과)과 고농도에서의 IPA 제거율(제조사 제공 데이터)을 비교하여, 향후 초순수 제조공정 설계 시에 막 제조사에서 제공하는 유기물 데이터의 신뢰성을 검증하는 데 활용하고자 한다. 또한, 생산수 유속(플럭스), 회수율 및 crossflow 등의 인자가 IPA 제거율에 미치는 영향을 분석하여 초순수 제조 공정 내 역삼투 공정의 저분자 저농도 유기물 제거율 향상 방안을 제시하는 것이 본 연구의 목적이다.
- 본 연구는 막 제조사가 제시한 초순수용 역삼투막의 저분자 유기물 제거율이 실제 초순수 공정에서는 존재할 수 없는 고농도(1,000 ppm) 조건에서 테스트되었다는 모순으로부터 출발되었다. 그러나, 아이러니컬하게도 본 연구를 통해 도출된 결론은 고농도 조건에서 테스트된 저분자 유기물(IPA)의 제거율이 저농도 조건(1 ppm 미만)에서의 제거율과 큰 차이를 보이지 않기 때문에, 제조사가 제시하는 데이터를 신뢰할 수 있다는 것이다.
- 따라서, 본 연구에서는 막 제조사에서 IPA 제거율을 제공하는 역삼투막 모듈(이후 초순수용 역삼투막이라고 표기)을 3개 선정하고 1 ppm 미만의 저농도 조건에서의 제거율을 평가하고자 한다. 저농도에서의 IPA 제거율(실험 결과)과 고농도에서의 IPA 제거율(제조사 제공 데이터)을 비교하여, 향후 초순수 제조공정 설계 시에 막 제조사에서 제공하는 유기물 데이터의 신뢰성을 검증하는 데 활용하고자 한다. 또한, 생산수 유속(플럭스), 회수율 및 crossflow 등의 인자가 IPA 제거율에 미치는 영향을 분석하여 초순수 제조 공정 내 역삼투 공정의 저분자 저농도 유기물 제거율 향상 방안을 제시하는 것이 본 연구의 목적이다.
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