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NTIS 바로가기한국표면공학회지 = Journal of the Korean institute of surface engineering, v.47 no.5, 2014년, pp.239 - 243
이기창 (경북대학교, 신소재공학부) , 조광민 (경북대학교, 신소재공학부) , 이준형 (경북대학교, 신소재공학부) , 김정주 (경북대학교, 신소재공학부) , 허영우 (경북대학교, 신소재공학부)
The electrical and optical properties of amorphous In-Tin-Zinc-Oxide(ITZO) deposited at room temperature using rf-magnetron sputtering were investigated. The amorphous ITZO thin films were obtained at the composition of In:Sn:Zn = 6:2:2, 4:3:3, and 2:4:4, but the ITZO (8:1:1) showed a crystalline ph...
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