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Effects of Electroplating Current Density and Duty Cycle on Nanocrystal Size and Film Hardness 원문보기

반도체디스플레이기술학회지 = Journal of the semiconductor & display technology, v.14 no.1, 2015년, pp.67 - 71  

Sun, Yong-Bin (Semiconductor-Display-Mechatronics Program, The Graduate School of Construction Engineering and Industry, Kyonggi University)

Abstract ▼ AI-Helper 아이콘AI-Helper

Pulse electroplating was studied to form nanocrystal structure effectively by changing plating current density and duty cycle. When both of plating current density and duty cycle were decreased from $100mA/cm^2$ and 70% to $50mA/cm^2$ and 30%, the P content in the Ni matrix was...

주제어

#nanocrystal   #pulsed electroplating   #over-potential   #duty cycle   #Ni-P alloy  

AI 본문요약
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* AI 자동 식별 결과로 적합하지 않은 문장이 있을 수 있으니, 이용에 유의하시기 바랍니다.

제안 방법

  • In order to figure out the correlation among the measured data as compared in Fig. 2, regression analysis is carried out among P contents, post-anneal grain size, pre-anneal hardness, and post-anneal hardness. When the p-values in regression analysis are less than 5%, there is a correlation with the reliability level of 95%.

대상 데이터

  • Film thickness was measured by the KLA-Tencor alpha-step stylus surface profiler. The phosphorus contents was analysed by EDX at the Oxford Instrument Model 7557 Inca X-sight attached to the JSM 6500F. The grain size of nano crystallites was estimated by using the grazing incidence x-ray diffraction (GID) method at the PANalytical B.

데이터처리

  • 0 µm were measured by nano-indenter at 20gf. All the measured data was treated with two-way ANOVA(analysis of variance) with balanced data in Excel to compare the significance of main effects and their interactions. And regression analysis was also done to see the correlation between the measured data.
  • All the measured data was treated with two-way ANOVA(analysis of variance) with balanced data in Excel to compare the significance of main effects and their interactions. And regression analysis was also done to see the correlation between the measured data.

이론/모형

  • The grain size of nano crystallites was estimated by using the grazing incidence x-ray diffraction (GID) method at the PANalytical B.V.X’Pert PRO [9].
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참고문헌 (10)

  1. Koch, C.C., Nanostructured Materials: Processing, Properties, and Applications, 2nd Ed. New York: William Andrew Inc., (2007). 

  2. McMahon, G., Erb, U., "Structural Transitions in Electroplated Ni-P alloys," J. of the Materials Science Letters, 8, pp.865-868, (1989). 

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  3. Sun, Y.B., "Nano Crystalline Change by Heat Treatment," J. of the Semiconductor & Display Technology, 12(4), pp.55-59, (2013). 

  4. Erb, U., Aust, K.T., "Electrodeposited Nanocrystalline Metals, Alloys, and Composites, Nanostructured Materials," In C.C. Koch, 2nd Eds., Nanostructured Materials: Processing, Properties, and Applications, New York: William Andrew Inc., pp.235-292, (2007). 

  5. Chandrasekar, M.S., Pushpavanam, M., "Pulse and Pulse Reverse Plating-Conceptual, Advantages and Applications," Electrochimica Acta, 53, pp.3313- 3322, (2008). 

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  6. Ibl, N., "Some Theoretical Aspects of Pulse Electrolysis," Surface Technology, 10(2), pp.81-104, (1980). 

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  7. Wang, N., Wang, Z., Aust, K.T., Erb, U., "Isokinetic Analysis of Nanocrystalline Nickel Electrodeposits upon Annealing," Acta Mater. 45(4), pp.1655-1669, (1997). 

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  8. Lu, K., Wei, W.D., Wang, J.T., "Grain Growth Kinetics and Interfacial Energies in Nanocrystalline Ni-P Alloys," J. of the Appl. Phys. 69(10), pp.7345-7347, (1991). 

    상세보기 crossref

  9. Mote1, V.D., Purushotham, Y., Dolel, B.N., "Williamson- Hall Analysis in Estimation of Lattice Strain in Nanometer-Sized ZnO Particles," J. of the Theoretical and Applied Physics, 6:6. Retrieved March 10, 2015, from http://www.jtaphys.com/content/6/1/6 (2 July 2012). 

  10. Lee, K.H., Statistics Using EXCEL,"2nded. JaYu Academy, (2000). 

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