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한국산학기술학회논문지 = Journal of the Korea Academia-Industrial cooperation Society, v.16 no.2, 2015년, pp.1375 - 1380
유정봉 (공주대학교 전기전자제어공학부) , 김영춘 (공주대학교 기계자동차공학부) , 조재웅 (공주대학교 기계자동차공학부)
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Nowadays, the technique to deal with the waste gas of perfluorinated compounds using plasma has been developed. As the effective decomposition techniques at many research centers and companies were investigated at home and abroad, the products have been improved with various methods. This study aims...
| 핵심어 | 질문 | 논문에서 추출한 답변 |
|---|---|---|
| 반도체 제조공정에 널리 사용되는 분해기술은 어떻게 나뉘는가? | 각종 가스를 사용하는 반도체 제조공정 중 식각(Etching) 및 증착(CVD)공정과 반도체 세정용에 사용되는 가스들은 필연적으로 유해한 폐가스를 배출되고 있으며, 배출되는 폐가스를 분해하는 장비를 스크러버(Scrubber)라고 한다. 반도체 제조공정에 널리 사용되는 분해기술은 산화방법인 직/간접 가열 분해법과 Plasma를 이용하는 Plasma 분해법 그리고 촉매를 이용하는 촉매 분해법 이렇게 크게 세 가지로 분류할 수 있다[1-3]. 마그네트론 장치에서 발생하는 마이크로웨이브를 열전유기체에 반응시키면 적은 전류 소모량으로 폐가스를 효과적으로 분해 처리 할 수 있고, 또한 폐가스 분해 시 발생하는 가스가 없어 지구온난화를 막을 수 있는 많은 장점이 있다. | |
| 스크러버란 어떤 장비인가? | 각종 가스를 사용하는 반도체 제조공정 중 식각(Etching) 및 증착(CVD)공정과 반도체 세정용에 사용되는 가스들은 필연적으로 유해한 폐가스를 배출되고 있으며, 배출되는 폐가스를 분해하는 장비를 스크러버(Scrubber)라고 한다. 반도체 제조공정에 널리 사용되는 분해기술은 산화방법인 직/간접 가열 분해법과 Plasma를 이용하는 Plasma 분해법 그리고 촉매를 이용하는 촉매 분해법 이렇게 크게 세 가지로 분류할 수 있다[1-3]. | |
| 마이크로웨이브 열원유기체를 이용한 폐가스 처리장치의 장점은 무엇인가? | 반도체 제조공정에 널리 사용되는 분해기술은 산화방법인 직/간접 가열 분해법과 Plasma를 이용하는 Plasma 분해법 그리고 촉매를 이용하는 촉매 분해법 이렇게 크게 세 가지로 분류할 수 있다[1-3]. 마그네트론 장치에서 발생하는 마이크로웨이브를 열전유기체에 반응시키면 적은 전류 소모량으로 폐가스를 효과적으로 분해 처리 할 수 있고, 또한 폐가스 분해 시 발생하는 가스가 없어 지구온난화를 막을 수 있는 많은 장점이 있다. 이런 장점을 갖는 분해법인 마이크로웨이브 열원유기체를 이용한 폐가스 처리장치의 개발이 |
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