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NTIS 바로가기진공 이야기 = Vacuum magazine, v.2 no.3, 2015년, pp.23 - 29
이동주 (현민지브이티(주) 진공기술연구소)
Cryopump(cryogenic pump), with integrating cryogenic skills into vacuum technology, is the most popular high vacuum pump system, which is widely used at the commercial vacuum industries with TMP. Hyunmin GVT, Inc. is the domestic unique professional manufacturer of the cryopump systems. About ten ye...
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핵심어 | 질문 | 논문에서 추출한 답변 |
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크라이오 펌프는 수분과 수소, 헬륨, 네온과 같은 Type III 가스 배기에 탁월한 성능을 가지는 이유는? | 반면, 현재의 크라이오 펌프는 1960년대 이래 개발된 GiffordMcmahon 2단 극저온 냉동기가 액체냉매를 대신한 형태이다. 특히 극저온 면에 차콜(숯)을 사용하면서 더 높은 진공도를 달성하게 되었다. 따라서 크라이오 펌프는 수분과 수소, 헬륨, 네온과 같은 Type III 가스 배기에 탁월한 성능을 가진다. | |
크라이오 펌프란? | 크라이오 펌프는 극저온 면에 가스들이 응축 또는 흡착되는 원리를 이용한 고진공 펌프로써, 모든 가스들에 대해 높은 배기속도와 오일이 없는 깨끗한 진공환경을 제공하는 것이 특징이다. 1930년대 이래 사용된 초기의 크라이오 펌프는 주로 액체 질소나 액체 헬륨 같은 액체냉매를 사용하여 배기하는 방식이었다. | |
크라이오 펌프의 특징은? | 크라이오 펌프는 극저온 면에 가스들이 응축 또는 흡착되는 원리를 이용한 고진공 펌프로써, 모든 가스들에 대해 높은 배기속도와 오일이 없는 깨끗한 진공환경을 제공하는 것이 특징이다. 1930년대 이래 사용된 초기의 크라이오 펌프는 주로 액체 질소나 액체 헬륨 같은 액체냉매를 사용하여 배기하는 방식이었다. |
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