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[국내논문] 현민 지브이티(GVT) 크라이오 펌프 이야기
Hyunmin GVT's Cryopump Story 원문보기

진공 이야기 = Vacuum magazine, v.2 no.3, 2015년, pp.23 - 29  

이동주 (현민지브이티(주) 진공기술연구소)

Abstract AI-Helper 아이콘AI-Helper

Cryopump(cryogenic pump), with integrating cryogenic skills into vacuum technology, is the most popular high vacuum pump system, which is widely used at the commercial vacuum industries with TMP. Hyunmin GVT, Inc. is the domestic unique professional manufacturer of the cryopump systems. About ten ye...

AI 본문요약
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문제 정의

  • 특히 글라스 사이즈가 점점 커지면서 진동문제는 크게 이슈가 되었다. GVT도 협력 장비사의 의뢰를 받아 크라이오 펌프의 진동을 줄이기 위한 연구를 수행하였다. 이런 프로젝트는 단기간에 눈에 띠는 좋은 결과를 내야 했기 때문에 전사적 역량을 집중해야 했다.
  • 수십 아니 수백 기압 이상을 다루다가 단지 1기압 미만을 다루는 것이니 그냥 만만하게 생각했던 것이다. 극저온 및 G-M극저온 냉동기에 대한 이해가 빨라지자 진공에 대한 이해를 높이기 위해서 이런 저런 자료를 찾고 사람들을 만나기 시작했다. 변두리에만 있으니 변두리 사람만 만난다.

가설 설정

  • 둘째, 좋은 진공을 원한다면 늘 물배기에 신경을 써야 하고 표면상태를 잘 관리해야 한다. 셋째 고진공을 달성하기 위한 왕도는 따로 없다. 즉, 한 오더의 진공도를 높이기 위해서는 펌프를 10배 더 많이 장착하든지, 또는 표면 상태를 10배 깨끗하게 하든지, 아니면 목표 진공도에 도달할 때까지 10배의 시간을 더 기다리는 수 밖에 없다.
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질의응답

핵심어 질문 논문에서 추출한 답변
크라이오 펌프는 수분과 수소, 헬륨, 네온과 같은 Type III 가스 배기에 탁월한 성능을 가지는 이유는? 반면, 현재의 크라이오 펌프는 1960년대 이래 개발된 GiffordMcmahon 2단 극저온 냉동기가 액체냉매를 대신한 형태이다. 특히 극저온 면에 차콜(숯)을 사용하면서 더 높은 진공도를 달성하게 되었다. 따라서 크라이오 펌프는 수분과 수소, 헬륨, 네온과 같은 Type III 가스 배기에 탁월한 성능을 가진다.
크라이오 펌프란? 크라이오 펌프는 극저온 면에 가스들이 응축 또는 흡착되는 원리를 이용한 고진공 펌프로써, 모든 가스들에 대해 높은 배기속도와 오일이 없는 깨끗한 진공환경을 제공하는 것이 특징이다. 1930년대 이래 사용된 초기의 크라이오 펌프는 주로 액체 질소나 액체 헬륨 같은 액체냉매를 사용하여 배기하는 방식이었다.
크라이오 펌프의 특징은? 크라이오 펌프는 극저온 면에 가스들이 응축 또는 흡착되는 원리를 이용한 고진공 펌프로써, 모든 가스들에 대해 높은 배기속도와 오일이 없는 깨끗한 진공환경을 제공하는 것이 특징이다. 1930년대 이래 사용된 초기의 크라이오 펌프는 주로 액체 질소나 액체 헬륨 같은 액체냉매를 사용하여 배기하는 방식이었다.
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