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NTIS 바로가기한국레이저가공학회지 = Journal of korean society of laser processing, v.18 no.1, 2015년, pp.7 - 11
최훈국 (광주과학기술원 고등광기술연구소) , 유동윤 (광주과학기술원 고등광기술연구소) , 손익부 (광주과학기술원 고등광기술연구소) , 노영철 (광주과학기술원 고등광기술연구소) , 김영식 ((주) PPI3.전남대학교) , 김수용 ((주) PPI3.전남대학교) , 김완춘 ((주) PPI3.전남대학교) , 김진봉 ((주) PPI3.전남대학교)
In this paper, micro trench structure is fabricated by femtosecond laser for inserting optical reflecting wavelength filter in planar waveguide. The width and depth of the trench is controlled by femtosecond laser machining condition. Also, large scale of single channel with 500um and 1000um on sili...
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핵심어 | 질문 | 논문에서 추출한 답변 |
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고출력 펨토초 레이저 펄스의 생성이 가능하게 된 배경은? | 펨토초 레이저는 높은 첨두 출력(peak power)과 처프 펄스 증폭(CPA: Chirped-Pulse Amplification) 기술의 개발로 고출력 펨토초 레이저 펄스의 생성이 가능해 졌으며1-2, 집적 삼차원 가공 소자를 제작할 수 있는 장점 때문에 많은 연구가 진행되고 있다. 또한, 레이저 가공 기술은 매우 미세하고 정밀하게 가공 할 수 있는 장점이 있으며, 펨토초 레이저 가공은 펄스폭이 매우 짧기 때문에 레이저 빔에 의한 열적 영향이 적어 가공 물질에 대한 영향을 최소화 할 수 있다3. | |
레이저 가공 기술의 장점은? | 펨토초 레이저는 높은 첨두 출력(peak power)과 처프 펄스 증폭(CPA: Chirped-Pulse Amplification) 기술의 개발로 고출력 펨토초 레이저 펄스의 생성이 가능해 졌으며1-2, 집적 삼차원 가공 소자를 제작할 수 있는 장점 때문에 많은 연구가 진행되고 있다. 또한, 레이저 가공 기술은 매우 미세하고 정밀하게 가공 할 수 있는 장점이 있으며, 펨토초 레이저 가공은 펄스폭이 매우 짧기 때문에 레이저 빔에 의한 열적 영향이 적어 가공 물질에 대한 영향을 최소화 할 수 있다3. 이러한 펨토초 레이저의 장점들로 인해 현재 펨토초 레이저를 이용한 광학 부품, 광소자, 반도체, 의료 분야등 다양한 분야에 적용되어 연구 및 기술개발이 이루어지고 있다4-8. | |
본 논문의 실험에서 사용된 1kHz 반복률을 가지는 펨토초 레이저 IFRIT의 사양은? | 펄스 반복률이 1kHz를 가지는 펨토초 레이저는 CyberLaser사의 Ti:Sapphire femtosecond laser (모델명 : IFRIT)이다. 이 펨토초 레이저의 사양은 785nm의 중심파장을 가지며, 185fs의 펄스폭을 가진다. 최대 출력은 1W이며, 스테이지 시스템은 X, Y, Z축으로 구성되어 있다. X, Y축은 Linear motor stage로 300mm × 300mm의 가공범위, 20nm의 정밀도, 20mm/s의 최대속도를 가진다. Z축은 Ballscrew stage로 이루어져 있으며, 200mm의 이동범위를 가지며, 0.5μm의 정밀도와 20mm/s의 최대속도를 가진다. |
Y.J. Kim, Y.S. Kim, S.M. Kim, and S.W. Kim, "Ultrafast femtosecond lasers: Fundamentals and applications," Journal of the Korean Society for Precision Engineering Vol. 27, No 6, pp. 7-16, 2010.
Gattass, R.R. and Mazur, E., "Femtosecond laser micromachining in transparent materials," Nature Photonics Vol. 2, No. 4, pp. 219-225, 2008.
Sung-Hak Cho, Jung-Kyu Park, Jae-Gu Kim, Won-Seok Chang, Doo-Sun Choi and Kyung-Hyun Whang, "Ultra-precision Machining using a Femtosecond Laser," Journal of the Korean Society for Precision Engineering Vol. 27, No. 6, pp. 17-23, 2010.
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Kyung Chan Kim, Kyung Ho Kim, Ji Soo Ha, Ik Bu Sohn, Hae Woon Choi and Tae Kwon Kim, "Machining Technology of Micro Combustion Nozzle Using a Femtosecond Laser," Journal of the Korean Society for Precision Engineering Vol. 27, No. 11, pp. 24-29, 2010.
Hun-Kook Choi, Ik-Bu Sohn, Young-Chul Noh, Yong-Tak Lee, Jin-Tae Kim, and Md. Shamim Ahsan, "Femtosecond-laser-assisted Fabrication of Double-layer Diffraction Gratings inside Fused Silica Glass," Journal of the Korean Physical Society, Vol. 66, No. 1, pp. 55-60, 2015.
Joong Wook Lee, Jin-Kyu Yang, Ik-Bu Sohn, Hyung Keun Yoo, Chul Kang, and Chul-Sik Kee, "Monopole resonators in planar plasmonic metamaterials," Optics Express, 22(15), pp. 18433-18439, 2014.
Hun-Kook Choi, Deok Jung, Ik-Bu Sohn, Young- Chul Noh, Yong-Tak Lee, Jin-Tae Kim, and Md. Shamim Ahsan, "Diffraction Efficiency Enhancement of Femtosecond Laser-engraved Diffraction Gratings Due to $CO_2$ Laser Polishing," Journal of the Korean Physical Society, Vol. 65, No. 10, pp. 1559-1565, 2014.
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