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제안 방법
- 본 연구에서 제안하는 초음파원자현미경은 비파괴적인 기법으로써 캔틸레버의 팁을 재료 표면에 접촉시켜 발생되는 접촉공진주파수를 분석하여 재료의 탄성특성을 평가할 수 있고 탄성특성을 이미지화 함으로써 표면이미지뿐만 아니라 탄성이미지를 동시에 얻을 수가 있다. 나노스케일 박막 코팅층에 대한 캔틸레버의 동특성을 정확하게 분석하기 위해 변형된 Hertzian 이론을 적용하였고 200 nm 두께의 알루미늄과 티타늄으로 증착된 박막 코팅층에 대하여 접촉공진주파수 분석 및 탄성이미지를 통해 나노스케일 박막 코팅층의 탄성특성을 평가하였다.
- 본 연구에서 제안하는 초음파원자현미경은 비파괴적인 기법으로써 캔틸레버의 팁을 재료 표면에 접촉시켜 발생되는 접촉공진주파수를 분석하여 재료의 탄성특성을 평가할 수 있고 탄성특성을 이미지화 함으로써 표면이미지뿐만 아니라 탄성이미지를 동시에 얻을 수가 있다. 나노스케일 박막 코팅층에 대한 캔틸레버의 동특성을 정확하게 분석하기 위해 변형된 Hertzian 이론을 적용하였고 200 nm 두께의 알루미늄과 티타늄으로 증착된 박막 코팅층에 대하여 접촉공진주파수 분석 및 탄성이미지를 통해 나노스케일 박막 코팅층의 탄성특성을 평가하였다.
- 초음파원자현미경의 접촉공진주파수의 변화에 의한 나노스케일 박막 코팅층의 탄성특성을 평가하기 위해 서로 다른 재료로 증착된 두 가지의 코팅층을 제작하였다. 4인치 (100) 방향의 웨이퍼 기판을 2.
대상 데이터
- 이 후 5분간 탈염수로 세척한 후 표면의 습기를 제거하기 위해 질소 가스로 건조 하였다. 고품질의 코팅층을 증착하기 위해 고진공 챔버에서 순도 99.995%의 알루미늄과 티타늄 타겟을 사용하여 알루미늄과 티타늄을 각각 200 nm의 두께로 DC 마그네트론 스퍼터링을 통해 증착하였다. 두 가지의 코팅층을 제작하기 위해 챔버 내의 압력은 4.
이론/모형
- 본 연구에서는 나노스케일 박막 시스템에서 사용되는 박막 코팅 층에 대한 탄성 특성 평가를 위해 초음파원자현미경 기법을 적용하였다. 실리콘웨이퍼 기판 위에 알루미늄과 티타늄으로 200 nm 두께로 증착한 코팅층을 제작하여 캔틸레버의 접촉공진주파수의 변화를 관찰하였고 각각의 코팅층의 재료에 따라 접촉공진주파수가 다르게 발생되는 것을 확인하였다.
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