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NTIS 바로가기멤브레인 = Membrane Journal, v.26 no.1, 2016년, pp.76 - 85
임민수 (한국화학연구원 그린화학소재연구본부 분리막연구센터) , 김성중 (한국화학연구원 그린화학소재연구본부 분리막연구센터) , 강하성 (한국화학연구원 그린화학소재연구본부 분리막연구센터) , 박호범 (한양대학교 에너지공학과) , 남승은 (한국화학연구원 그린화학소재연구본부 분리막연구센터) , 박호식 (한국화학연구원 그린화학소재연구본부 분리막연구센터) , 이평수 (한국화학연구원 그린화학소재연구본부 분리막연구센터) , 박유인 (한국화학연구원 그린화학소재연구본부 분리막연구센터)
Fabrication of polysulfone (PSf) hollow fiber membranes was investigated for the separation of
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핵심어 | 질문 | 논문에서 추출한 답변 |
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삼불화질소는 무엇인가? | 삼불화질소(NF3)는 반도체 및 LCD 공정에서 식각(etching), 세정(cleaning)용으로 사용되는 불소화 기체이다[1]. 기존 PFCs (Perfluorocarbons)의 우수한 대체 물질로써, 분해 부산물이 남지 않는다는 장점 때문에 관련 수요가 지속적으로 증가하고 있다. | |
삼불화질소는 어떠한 장점 때문에 관련 수요가 지속적으로 증가하고 있는가? | 삼불화질소(NF3)는 반도체 및 LCD 공정에서 식각(etching), 세정(cleaning)용으로 사용되는 불소화 기체이다[1]. 기존 PFCs (Perfluorocarbons)의 우수한 대체 물질로써, 분해 부산물이 남지 않는다는 장점 때문에 관련 수요가 지속적으로 증가하고 있다. 그러나 NF3는 지구온난화지수(GWP)가 CO2에 비해 17,200배 이상 큰 온실가스이기 때문에, 포스트 교토 체제에서는 온실가스 감축(Emission reduction)대상 후보 물질로 포함하고 있다[2]. | |
NF3의 특징은? | NF3는 열 및 플라스마 분해법을 이용하여 상당 부분 제거가 가능하지만 환경적, 경제적 관점에서 효율성이 떨어진다[5]. 분해법의 경우 불화수소 (HF)와 같은 2차적인 환경 유해 물질이 생성되며, 기존 PFCs보다 3배 이상 높은 가격 역시 분해법을 통한 NF3 폐기보다는 분리공정을 통한 회수 및 재이용이 경제적이라고 판단된다. |
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오픈액세스 학술지에 출판된 논문
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