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초록
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반도체 및 디스플레이 공정에서 배출되는 $N_2/NF_3$ 혼합 가스 분리를 위한 폴리썰폰 중공사막 제조 연구를 수행하였다. 먼저 non-solvent induced phase separation (NIPS)와 vapor induced phase separation (VIPS) 혼합 공정을 이용하여 기체투과성이 높은 고분자 중공사막을 제조하였다. 제조된 중공사막 표면에 PDMS(polydimethylsiloxiane)와 Teflon AF1600(R) 고분자 소재를 이용하여 얇은 박막을 추가적으로 코팅하는 방법으로 기체 분리막을 완성하였다. 제조된 분리막은 코팅된 고분자 소재의 기체 분리 특성에 따라 상이한 $N_2/NF_3$ 분리 성능을 보여주었다. 특히 Teflon AF1600(R) 이 코팅된 중공사막의 경우 $N_2/NF_3$ 분리 성능(> 14)을 보여주었고, $N_2$ 투과도는 4.5 GPU를 나타내었다. 상용 폴리썰폰 막과 비교해 볼 때, 투과도는 약간 감소하였지만 기체 선택도는 크게 증가하였다. 이런 특징은 $N_2/NF_3$를 분리하는 분리막 구조로써 큰 가능성을 지니는 것으로 판단된다.

Abstract AI-Helper 아이콘AI-Helper

Fabrication of polysulfone (PSf) hollow fiber membranes was investigated for the separation of $N_2/NF_3$ gas mixtures, which are emitted from the display and the semiconductor industries. A combination of the non-solvent induced phase separation (NIPS) and the vapor-induced phase separat...

주제어

AI 본문요약
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문제 정의

  • 따라서 본 연구에서는 N2/NF3 분리에 적합한 고분자 코팅 물질을 선정하여 N2/NF3 기체 분리용 폴리설폰 중공사막 제조 연구를 진행하였다. 먼저 NIPS단독 공정 및 NIPS/VIPS 혼합 공정을 사용하여 폴리설폰 중공사막을 제조하였다[17].

가설 설정

  • 4. (a) gas solubility as a function of critical temperature, (b) gas diffusivity as a function of critical volume in PDMS membrane.
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질의응답

핵심어 질문 논문에서 추출한 답변
삼불화질소는 무엇인가? 삼불화질소(NF3)는 반도체 및 LCD 공정에서 식각(etching), 세정(cleaning)용으로 사용되는 불소화 기체이다[1]. 기존 PFCs (Perfluorocarbons)의 우수한 대체 물질로써, 분해 부산물이 남지 않는다는 장점 때문에 관련 수요가 지속적으로 증가하고 있다.
삼불화질소는 어떠한 장점 때문에 관련 수요가 지속적으로 증가하고 있는가? 삼불화질소(NF3)는 반도체 및 LCD 공정에서 식각(etching), 세정(cleaning)용으로 사용되는 불소화 기체이다[1]. 기존 PFCs (Perfluorocarbons)의 우수한 대체 물질로써, 분해 부산물이 남지 않는다는 장점 때문에 관련 수요가 지속적으로 증가하고 있다. 그러나 NF3는 지구온난화지수(GWP)가 CO2에 비해 17,200배 이상 큰 온실가스이기 때문에, 포스트 교토 체제에서는 온실가스 감축(Emission reduction)대상 후보 물질로 포함하고 있다[2].
NF3의 특징은? NF3는 열 및 플라스마 분해법을 이용하여 상당 부분 제거가 가능하지만 환경적, 경제적 관점에서 효율성이 떨어진다[5]. 분해법의 경우 불화수소 (HF)와 같은 2차적인 환경 유해 물질이 생성되며, 기존 PFCs보다 3배 이상 높은 가격 역시 분해법을 통한 NF3 폐기보다는 분리공정을 통한 회수 및 재이용이 경제적이라고 판단된다.
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참고문헌 (34)

  1. M. Delfino, B. C. Chung, W. Tsai, S. Salimian, D. P. Favreau, and S. M. Merchant, "X­ray photoemission analysis and electrical contact properties of NF3 plasma cleaned Si surfaces", Journal of Applied Physics, 72, 3718 (1992). 

  2. S.-E. Nam, A. Park, and Y.-I. Park, "Separation and recovery of f-gases", Membr. J., 23, 189 (2013). 

  3. http://www.industrytoday.co.uk/market-research-industry-today/nitrogen-trifluoride-nf3-market-will-re flect-significant-growth-prospects-during-2014---2020/45304. 

  4. http://www.whatech.com/market-research/materials-chemicals/115729-learn-details-of-the-nitrogen-trifluorideand-fluorine-gas-market-size-share-and-forecasts-to-2020. 

  5. K. Kunihiko, F. Tatsuo, F. Shizuichi, and S. Manabu, "Study of , $CF_4 , $C_2F_6$ , $SF_6$ and $NF_3$ decomposition characteristics and etching performance in plasma state", Japanese Journal of Applied Physics, 36, 5724 (1997). 

  6. M. Carta, R. Malpass-Evans, M. Croad, Y. Rogan, J. C. Jansen, P. Bernardo, F. Bazzarelli, and N. B. McKeown, "An efficient polymer molecular sieve for membrane gas separations", Science, 339, 303 (2013). 

  7. P. Chiesa, S. Campanari, and G. Manzolini, " $CO_2$ cryogenic separation from combined cycles integrated with molten carbonate fuel cells", International Journal of Hydrogen Energy, 36, 10355 (2011). 

  8. R. B. Eldridge, "Olefin/paraffin separation technology:a review", Industrial & Engineering Chemistry Research, 32, 2208 (1993). 

  9. P. Kowalczyk, P. A. Gauden, and A. P. Terzyk, "Cryogenic separation of hydrogen isotopes in single-walled carbon and boron-nitride nanotubes: Insight into the mechanism of equilibrium quantum sieving in quasi-one-dimensional pores", The Journal of Physical Chemistry B, 112, 8275 (2008). 

  10. Q. Min Wang, D. Shen, M. Bulow, M. Ling Lau, S. Deng, F. R. Fitch, N. O. Lemcoff, and J. Semanscin, "Metallo-organic molecular sieve for gas separation and purification", Microporous and Mesoporous Materials, 55, 217 (2002). 

  11. S. Sircar, T. C. Golden, and M. B. Rao, "Activated carbon for gas separation and storage", Carbon, 34, 1 (1996). 

  12. J. H. Park, D. J. Kim, and S. Y. Nam, "Characterization and preparation of PEG-polyimide copolymer asymmetric flat sheet membranes for carbon dioxide separation", Membr. J., 25, 547 (2015). 

  13. P. van de Witte, P. J. Dijkstra, J. W. A. van den Berg, and J. Feijen, "Phase separation processes in polymer solutions in relation to membrane formation", J. Membr. Sci., 117, 1 (1996). 

  14. G. R. Guillen, Y. Pan, M. Li, and E. M. V. Hoek, "Preparation and characterization of membranes formed by nonsolvent induced phase separation: A review", Industrial & Engineering Chemistry Research, 50, 3798 (2011). 

  15. M. Shang, H. Matsuyama, M. Teramoto, D. R. Lloyd, and N. Kubota, "Preparation and membrane performance of poly(ethylene-co-vinyl alcohol) hollow fiber membrane via thermally induced phase separation", Polymer, 44, 7441 (2003). 

  16. H. C. Park, Y. P. Kim, H. Y. Kim, and Y. S. Kang, "Membrane formation by water vapor induced phase inversion", J. Membr. Sci., 156, 169 (1999). 

  17. H. A. Tsai, C. Y. Kuo, J. H. Lin, D. M. Wang, A. Deratani, C. Pochat-Bohatier, K. R. Lee, and J. Y. Lai, "Morphology control of polysulfone hollow fiber membranes via water vapor induced phase separation", J. Membr. Sci., 278, 390 (2006). 

  18. S.-H. Cho, H.-K. Lee, and T.-B. Kang, "Separation of $H_2/N_2$ gas mixture by PTMSP-PEI and PDMS-PEI composite membranes", Membr. J., 13, 291 (2003). 

  19. H. Kim, M. Lee, W. Park, S. Lee, H. Lee, and S. Lee, "Permeation properties of single gases ( $N_2,\, O_2, \,SF_6, \,CF_4$ ) through PDMS and PEBAX membranes", Membr. J., 22, 201 (2012). 

  20. A. F. Ismail, I. R. Dunkin, S. L. Gallivan, and S. J. Shilton, "Production of super selective polysulfone hollow fiber membranes for gas separation", Polymer, 40, 6499 (1999). 

  21. D. Wang, K. Li, and W. K. Teo, "Polyethersulfone hollow fiber gas separation membranes prepared from NMP/alcohol solvent systems", J. Membr. Sci., 115, 85 (1996). 

  22. L. S. White, T. A. Blinka, H. A. Kloczewski, and I. F. Wang, "Properties of a polyimide gas separation membrane in natural gas streams", J. Membr. Sci., 103, 73 (1995). 

  23. A. F. Ismail and S. J. Shilton, "Polysulfone gas separation hollow fiber membranes with enhanced selectivity", J. Membr. Sci., 139, 285 (1998). 

  24. H. Y. Hwang, S. Y. Nam, H. C. Koh, S. Y. Ha, G. Barbieri, and E. Drioli, "The effect of operating conditions on the performance of hollow fiber membrane modules for $CO_2/N_2$ separation", Journal of Industrial and Engineering Chemistry, 18, 205 (2012). 

  25. S. Lee, J. S. Lee, M. Lee, J.-W. Choi, S. Kim, and S. Lee, "Separation of sulfur hexafluoride (SF6) from ternary gas mixtures using commercial polysulfone (PSf) hollow fiber membranes", J. Membr. Sci., 452, 311 (2014). 

  26. C. Cao, T.-S. Chung, S. B. Chen, and Z. Dong, "The study of elongation and shear rates in spinning process and its effect on gas separation performance of Poly(ether sulfone) (PES) hollow fiber membranes", Chemical Engineering Science, 59, 1053 (2004). 

  27. T.-S. Chung, W.-H. Lin, and R. H. Vora, "The effect of shear rates on gas separation performance of 6FDA-durene polyimide hollow fibers", J. Membr. Sci., 167, 55 (2000). 

  28. O. M. Ekiner and G. Vassilatos, "Polyaramide hollow fibers for H2/CH4 separation: II. Spinning and properties", J. Membr. Sci., 186, 71 (2001). 

  29. S. J. Shilton, A. F. Ismail, P. J. Gough, I. R. Dunkin, and S. L. Gallivan, "Molecular orientation and the performance of synthetic polymeric membranes for gas separation", Polymer, 38, 2215 (1997). 

  30. T. C. Merkel, V. I. Bondar, K. Nagai, B. D. Freeman, and I. Pinnau, "Gas sorption, diffusion, and permeation in poly(dimethylsiloxane)", Journal of Polymer Science Part B: Polymer Physics, 38, 415 (2000). 

  31. D. Hofmann, L. Fritz, J. Ulbrich, C. Schepers, and M. Bohning, "Detailed-atomistic molecular modeling of small molecule diffusion and solution processes in polymeric membrane materials", Macromolecular Theory and Simulations, 9, 293 (2000). 

  32. J. G. Wijmans and R. W. Baker, "The solution-diffusion model: A review", J. Membr. Sci., 107, 1 (1995). 

  33. D. J. Branken, H. M. Krieg, J. P. le Roux, and G. Lachmann, "Separation of $NF_3$ and $CF_4$ using amorphous glassy perfluoropolymer Teflon AF and Hyflon AD60 membranes", J. Membr. Sci., 462, 75 (2014). 

  34. S. Park, W. R. Kang, H. T. Kwon, S. Kim, M. Seo, J. Bang, S. H. Lee, H. K. Jeong, and J. S. Lee, "The polymeric upper bound for $N_2/NF_3$ separation and beyond; ZIF-8 containing mixed matrix membranes", J. Membr. Sci., 486, 29 (2015). 

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