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NTIS 바로가기한국정밀공학회지 = Journal of the Korean Society for Precision Engineering, v.33 no.6, 2016년, pp.459 - 467
김택겸 (기가비스(주) 기술연구소) , 경대수 (기가비스(주) 기술연구소) , 손운철 (기가비스(주) 기술연구소) , 박선영 (기가비스(주) 기술연구소)
Using a line scan camera and a Galvano mirror, we constructed a high-speed line-scanning microscope that can generate 2D images (
* AI 자동 식별 결과로 적합하지 않은 문장이 있을 수 있으니, 이용에 유의하시기 바랍니다.
핵심어 | 질문 | 논문에서 추출한 답변 |
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가공 홀 불량 판별에서 SEM 이미지를 이용해 불량을 자동으로 판별하기에 어떤 문제점이 있는가? | 기존 검사 방법의 경우, 기술적 한계 때문에 전수검사가 매우 어려운 까닭에 단순히 현미경으로 이미지를 측정하거나,6 SEM 이나 초음파 이미지 측정 등으로 가공 홀 불량을 판별하였다.1 하지만 SEM 이미지는 불량을 자동으로 판별하기에는 뜯김이나 돌출 등의 불량과 주변의 명암대비(Contrast)가 낮고, 초음파 이미지는 명암대비뿐만 아니라 분해능도 낮아 가공 품질을 정확하게 판별하기 어렵다. 또한 위의 두 방법은 검사시간이 오래 걸린다는 단점이 있다. | |
공 초점 측정 방법이 2D 이미지를 구성하는 방법은 무엇인가? | 점 측정 방식의 대표적인 예가 공 초점 측정 방법이다. 이 방법은 시료 위치 한 점에 대응되는 한 픽셀의 정보를 모아서 픽셀 데이터를 축적해서 2D 이미지를 구성한다. 예로, 해상도 1000 x 1000의 2D 이미지라면 106점을 시간에 따라 위치를 변화시키면서 각각 측정한다. | |
가공 홀 불량 검사에서 레이저 스캔 공 초점 방식의 장점은 무엇인가? | 한편, 레이저 스캔 공 초점 방식 (Laser Scan Confocal Method)은 검사시간의 한계만 극복하면 좋은 검사 방법이 될 수 있다.7-10 공 초점 방식의 장점은 SEM 이나 초음파 방식에 비해 시료에 대해 접근성이 좋아 자동 검사가 가능하며, CFRP표면처럼 반사나 산란 신호의 변화가 표면 상태를 대변하지 못하는 경우에 특히 유리하다. CFRP처럼 표면에 광택이 있는 제품의 경우 불량 유무와 상관없이 미세한 표면 변화에도 측정 이미지가 크게 다를 수 있다. |
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