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NTIS 바로가기반도체디스플레이기술학회지 = Journal of the semiconductor & display technology, v.16 no.4, 2017년, pp.75 - 78
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핵심어 | 질문 | 논문에서 추출한 답변 |
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60도 열처리를 한 경우 SnO2 박막에 음의 전류가 증가하는 이유는? | 60도 열처리를 한 경우 SnO2 박막은 CO2 가스의 유량이 증가할수록 음의 전류가 증가하는 것을 확인하였다. 음의 전류가 증가하는 것은 비정질 구조의 SnO2 박막의 표면에서 가스와 반응하는 성분이 많기 때문이며, 이러한 SnO2 박막의 CO2 가스에 대한 반응성에 대한 균일성이 60도에서 열처리를 할 경우 가장 좋고, CO2 가스센서를 만들 경우 가장 우수해 질 수 있다는 의미이기도 하다. | |
금속 산화물 반도체식 가스 센서는 무엇인가? | 최근에 많이 연구되고 있는 가스 센서는 주로 금속 산화물 반도체식 가스 센서가 있다. 금속 산화물 반도체식 가스 센서는 금속 산화물 표면에 흡착되어 있는 산소와 검출 가스의 반응을 통해 나타나는 반도체의 저항변화를 측정하는 센서이다. 인체에 유해한 환경물질인 휘발성유기화합물 VOCs (Volatile Organic Compounds)들의 가스반응 감지시스템으로 반도체식 가스 센서가 주목을 받고 있다[1-4]. | |
반도체소자로 가스반응을 일으키는 수용체로 사용되는 물질들은 어떤 것들이 있는가? | 인체에 유해한 환경물질인 휘발성유기화합물 VOCs (Volatile Organic Compounds)들의 가스반응 감지시스템으로 반도체식 가스 센서가 주목을 받고 있다[1-4]. 반도체소자로 가스반응을 일으키는 수용체로 사용되는 물질들로 SnO2, ZnO, WO3, In2O3, CuO 등이 알려져 있다. 금속산화물 반도체물질은 계면접합 특성에 의하여 발생하는 산소공공의 이온화 효과에 따라서 가스와 반응하는 화학적 특성이 달라지고 저항이 달라져서 전기신호로 바꾸어 신호처리를 하기 쉽게 되므로 의료용 기기, 광 센서 등에서 이용되고 있다[5-9]. |
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