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기계저널 : 大韓機械學會誌, v.57 no.1, 2017년, pp.37 - 41
윤관호 (포항공과대학교 기계공학과) , 노준석 (포항공과대학교 기계공학과)
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| 핵심어 | 질문 | 논문에서 추출한 답변 |
|---|---|---|
| 집속 이온빔을 통한 가공의 정밀도를 결정하는 가장 중요한 요소는 무엇인가? | 집속 이온빔을 통한 가공의 정밀도를 결정하는 가장 중요한 요소는 이온빔을 발생시키는 건이라고 할 수 있다. 그림 2(a)는 상용적으로 사용되는 갈륨 건의 모습을 나타낸다. | |
| 집속 이온빔 밀링 시스템은 일반적으로 어떻게 구성되는가? | 집속 이온빔 밀링 시스템은 제조사별로 구체적인 형상에 차이는 있지만 일반적으로 고에너지의 이온 빔을 발생시키는 건(gun)과 방출된 이온빔의 크기, 에너지 등을 조절하는 컬럼(column) 그리고 가공하고자 하는 샘플을 고정시켜 움직이거나 기울일 수 있는 스테이지(stage)로 구성된다(그림 1). 건에서 방출되는 이온은 매우 큰 운동에너지를 가지는데 전자보다 수 천 배 무겁기 때문에 전자빔과는 다르게 샘플에 충돌하면 기존에 샘플을 구성하고 있던 원자를 밖으로 튕겨낼 수 있다. | |
| 건에 사용되는 물질 중 현재 가장 널리 쓰이는 물질은 무엇이며 그 장점은 무엇인가? | 일반적으로 건의 성능은 이온빔의 소스로 사용되는 물질의 종류에 따라 결정된다. 현재 가장 널리 쓰이는 물질은 갈륨인데 갈륨은 녹는 점이 상온 근처에 있기 때문에 전류를 조금만 흘려주어도 쉽게 녹일수 있다는 장점이 있다. 다른 금속의 경우에는 녹는점이 매우 높기 때문에 녹이는 것이 쉽지 않은데 녹지 않고 고체상태로 있는 경우 원자 간의 결합력이 매우 강하기 때문에 외부에서 아무리 강한 전기장을 걸어주어도 이온을 방출시키는 것은 쉽지 않다. |
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