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NTIS 바로가기Transactions on electrical and electronic materials, v.18 no.2, 2017년, pp.93 - 96
Joo, Yong Hwan (Department of Electrical Engineering, Chosun University) , Kim, Nam-Hoon (Department of Electrical Engineering, Chosun University) , Park, Yong Seob (Department of Electronics, Chosun College of Science and Technology)
The structural, electrical and optical properties of Ti thin films fabricated by dual magnetron sputtering were investigated under various film thicknesses. The fabricated Ti thin films exhibited uniform surfaces, crystallinity, various grain sizes, and with various film thicknesses. Also, the cryst...
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