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유연성 높은 캔틸레버 제작을 위한 스프레이 코팅 방법 연구
Study of Manual Spray Coating Method for Fabricating Flexible Cantilever 원문보기

Journal of sensor science and technology = 센서학회지, v.26 no.5, 2017년, pp.366 - 369  

김지관 (광주대학교 기계.금형공학부)

Abstract ▼ AI-Helper 아이콘AI-Helper

This work presents a detailed study of several parameters on the spray coating method for fabricating a flexible cantilever. Conventionally, spin coating method have been widely used in the microelectromechanical system (MEMS) fabrication process. However, the major drawback of this method is the di...

주제어

#MEMS   #Spray coating   #Spin coating   #Cantilever   #Photolithography  

AI 본문요약
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문제 정의

  • 본 연구에서는 이러한 상용 스프레이 코팅 장비의 단점을 보완하기 위해 실험실에서 일반적으로 보유하고 있는 장비를 사용하여 손쉽게 적용 가능한 수동 스프레이 공정에 관한 실험을 진행하였다.
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질의응답

핵심어 질문 논문에서 추출한 답변
스프레이 코팅 기술의 장점은? 특히 MEMS(Micro Electro Mechanical System)공정에서는 기판 상부에 감광액 (Photoresist, PR)을 도포하는 목적으로 스프레이 코팅 기술을 이용하고 있다[1-5]. 이러한 스프레이 코팅 기술은 일반적으로 사용되는 스핀 코팅 방법에 비해 소량의 PR을 사용하여 전면에 도포가 가능하므로 비용 절감 효과가 있고, 기판의 상·하부 및 측면의 코팅이 원활히 수행되므로 step coverage가 좋은 장점을 가진다[1-5]. 또한 PR두께 조절을 통해 식각된 기판 하부에 수마이크로 크기를 갖는 미소 패턴 형성도 용이하게 수행할 수 있기 때문에 활용도가 높다.
MEMS공정에서 스프레이 코팅 기술을 사용하는 목적은? 스프레이 코팅 기술은 나노-마이크로 입자를 표면에 도포하여 기판을 코팅하는데 널리 사용된다[1-10]. 특히 MEMS(Micro Electro Mechanical System)공정에서는 기판 상부에 감광액 (Photoresist, PR)을 도포하는 목적으로 스프레이 코팅 기술을 이용하고 있다[1-5]. 이러한 스프레이 코팅 기술은 일반적으로 사용되는 스핀 코팅 방법에 비해 소량의 PR을 사용하여 전면에 도포가 가능하므로 비용 절감 효과가 있고, 기판의 상·하부 및 측면의 코팅이 원활히 수행되므로 step coverage가 좋은 장점을 가진다[1-5].
일반적으로 사용되는 스핀 코팅 방법의 문제점은? Fig. 1과 같이 포토공정을 위한 감광액(Photoresist, PR)을 표면에 도포할 때 일반적으로 널리 사용되는 스핀코팅 방법을 사용하여 식각된 기판 상부에 코팅을 진행하면 측면 및 모서리 부분이 완벽히 코팅되지 않아 추후 식각 공정시 측면부분이 노출 되어 금속 형성에 어려움이 발생하지만 스프레이 코팅 방법을 이용하여 공정을 수행할 때는 측면 및 모서리 부분이 완벽히 코팅되어 금속에 단선이 생기지 않는다. 또한 식각된 기판의 두께에 맞는 두꺼운 PR을 사용하거나 적층 형태의 도포 방법을 사용하여 패턴을 진행할 경우 식각된 하부 표면에 5 µm 이하의 크기를 갖는 미소패턴 형성이 힘들기 때문에 전면에 균일하고 얇게 코팅할 수 있는 스프레이 코팅방법을 사용하고 있다.
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참고문헌 (10)

  1. Duk-Soo EUN, Do-Wok KIM, Chang-Taeg SEO, Jong-Hyun LEE, Young-Ho BAE, In-Sik Yu, and Chang-Gil SUK, "Photoresist Spray Coating for Resist Film Performance of Deep Silicon Cavities", J. Korean Physical Society, Vol. 50, No. 6, pp. 1947-1951, 2007. 

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  2. Nithi Atthi, Karoon Saejok, Jakrapong Supadech, Wutthinan Jeamsaksiri, Oraphan Thongsuk, Paweena Dulyaseree, Charndet Hruanun, and Amporn Poyai, "Improvement of Photoresist Film Coverage on High Topology Surface with Spray Coating Technique", J. Microscopy Society of Thailand, Vol. 24, No. 1, pp. 42-46, 2010. 

  3. T. Luxbacher and A. Mirza, "Spray Coating for MEMS, Interconnects, and Advanced Packaging Applications", Sensors, Vol. 16, No. 7, pp. 61-64, 1999. 

  4. N. Pham, T. Scholtes, R. Klerks, E. Boellaard, P.M. Sarro, and J.N. Burghartz, "Direct spray coating of photoresist - a new method for patterning 3-D structures", Eurosensors XVI, pp. 182-185, Prague, Czech Republic, 2002. 

  5. Liming Yu, Yong Yeow Lee, Francis E.H. Tay, and Ciprian Iliescu, "Spray Coating of Photoresist for 3D Microstructures with Different Geometries", J. Physics: Conference Series, Vol. 34, pp. 937-942, 2006. 

    상세보기 crossref

  6. Zhe Wang, Hongyang Ma, Benjamin Chu, and Benjamin S. Hsiao, "Fabrication of cellulose nanofiber-based ultrafiltration membranes by spray coating approach", J. Appl. Polym. Sci., Vol. 134, pp. 44583, 2017. 

  7. U. Staudinger, P. Thoma, F. Luttich, A. Janke, O. Kobsch, O.D. Gordan, P. Potschke, B. Voit, and D.R.T Zahn, "Properties of thin layers of electrically conductive polymer/MWCNT composites prepared by spray coating", Composites Science and Technology, Vol. 138, pp. 134-143, 2017. 

    상세보기 crossref

  8. Jin Xiao, Lei Chen, Hongchun Yuan, Lei Ji, Chao Xiong, Jinxiang Ma, and Xifang Zhu, "Fabrication and characterization of $BaZr_{0.1}Ce_{0.7}Y_{0.2}O_{3-{\delta}}$ based anode supported solid oxide fuel cells by tape casting combined with spray coating", Materials Letters, Vol. 189, pp. 192-195, 2017. 

    상세보기 crossref

  9. Jiseop Hwang, Ho-Jung Ha, Jungho Ryu, Jong-Jin Choi, Cheol-Woo Ahn, Jong-Woo Kim, Byung-Dong Hahn, Woon-Ha Yoon, Heesoo Lee, and Joon-Hwan Choi, "Enancement of washcoat adhesion for SCR catalysts to convert nitrogen oxide using powder spray coating of $TiO_2$ on metallic honeycomb substrate", Catalysis Communications, Vol. 94, pp. 1-4, 2017. 

    상세보기 crossref

  10. Mohammad Nur E Alam Al Nasim, and Doo-Man Chun, "Formation of few-layer graphene flake structures from graphite particles during thin film coating using dry spray deposition method", Thin Solid Films, Vol. 622, pp. 34-40, 2017. 

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