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NTIS 바로가기Journal of sensor science and technology = 센서학회지, v.26 no.5, 2017년, pp.366 - 369
김지관 (광주대학교 기계.금형공학부)
This work presents a detailed study of several parameters on the spray coating method for fabricating a flexible cantilever. Conventionally, spin coating method have been widely used in the microelectromechanical system (MEMS) fabrication process. However, the major drawback of this method is the di...
핵심어 | 질문 | 논문에서 추출한 답변 |
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스프레이 코팅 기술의 장점은? | 특히 MEMS(Micro Electro Mechanical System)공정에서는 기판 상부에 감광액 (Photoresist, PR)을 도포하는 목적으로 스프레이 코팅 기술을 이용하고 있다[1-5]. 이러한 스프레이 코팅 기술은 일반적으로 사용되는 스핀 코팅 방법에 비해 소량의 PR을 사용하여 전면에 도포가 가능하므로 비용 절감 효과가 있고, 기판의 상·하부 및 측면의 코팅이 원활히 수행되므로 step coverage가 좋은 장점을 가진다[1-5]. 또한 PR두께 조절을 통해 식각된 기판 하부에 수마이크로 크기를 갖는 미소 패턴 형성도 용이하게 수행할 수 있기 때문에 활용도가 높다. | |
MEMS공정에서 스프레이 코팅 기술을 사용하는 목적은? | 스프레이 코팅 기술은 나노-마이크로 입자를 표면에 도포하여 기판을 코팅하는데 널리 사용된다[1-10]. 특히 MEMS(Micro Electro Mechanical System)공정에서는 기판 상부에 감광액 (Photoresist, PR)을 도포하는 목적으로 스프레이 코팅 기술을 이용하고 있다[1-5]. 이러한 스프레이 코팅 기술은 일반적으로 사용되는 스핀 코팅 방법에 비해 소량의 PR을 사용하여 전면에 도포가 가능하므로 비용 절감 효과가 있고, 기판의 상·하부 및 측면의 코팅이 원활히 수행되므로 step coverage가 좋은 장점을 가진다[1-5]. | |
일반적으로 사용되는 스핀 코팅 방법의 문제점은? | Fig. 1과 같이 포토공정을 위한 감광액(Photoresist, PR)을 표면에 도포할 때 일반적으로 널리 사용되는 스핀코팅 방법을 사용하여 식각된 기판 상부에 코팅을 진행하면 측면 및 모서리 부분이 완벽히 코팅되지 않아 추후 식각 공정시 측면부분이 노출 되어 금속 형성에 어려움이 발생하지만 스프레이 코팅 방법을 이용하여 공정을 수행할 때는 측면 및 모서리 부분이 완벽히 코팅되어 금속에 단선이 생기지 않는다. 또한 식각된 기판의 두께에 맞는 두꺼운 PR을 사용하거나 적층 형태의 도포 방법을 사용하여 패턴을 진행할 경우 식각된 하부 표면에 5 µm 이하의 크기를 갖는 미소패턴 형성이 힘들기 때문에 전면에 균일하고 얇게 코팅할 수 있는 스프레이 코팅방법을 사용하고 있다. |
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