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진공 이야기 = Vacuum magazine, v.4 no.2, 2017년, pp.10 - 14
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In this paper, I present the introduction of cutoff probe in plasma diagnostics. This paper shows the whole progress for the cutoff probe including how to start to develop the cutoff probe in the initial period, what idea has been included during the development, how to evolve the probe during ten y...
* AI 자동 식별 결과로 적합하지 않은 문장이 있을 수 있으니, 이용에 유의하시기 바랍니다.
| 핵심어 | 질문 | 논문에서 추출한 답변 |
|---|---|---|
| Langmuir 탐침의 단점은? | 한번에 많은 플라즈마 변수를 측정할 수 있고, scanning을 통한 공간적인 분포도 알 수 있다. 하지만 Langmuir 탐침은 공정 플라즈마에서 사용할 수 없고, Langmuir 탐침에 걸어주는 높은 전위가 플라즈마를 변화시킬 수 있다는 단점을 가지고 있다. | |
| 컷오프 탐침은 어떤 장치인가? | 컷오프 탐침은 위와 같은 파동의 분산 관계식을 이용한 측정 장치이다. 위에서 살펴본 것처럼, 플라즈마 주파수에 비해 낮은 주파수의 파동은 플라즈마를 통과하지 못하고 감쇠되며, 높은 주파수의 파동은 플라즈마에서 잘 진행할 수 있게 된다. | |
| Langmuir 탐침의 장점은? | 플라즈마 변수(전자밀도, 전자온도 등)를 측정하는 탐침으로는 Langmuir 탐침이 가장 일반적으로 사용되며, 그만큼 좋은 특징들을 가지고 있다. 한번에 많은 플라즈마 변수를 측정할 수 있고, scanning을 통한 공간적인 분포도 알 수 있다. 하지만 Langmuir 탐침은 공정 플라즈마에서 사용할 수 없고, Langmuir 탐침에 걸어주는 높은 전위가 플라즈마를 변화시킬 수 있다는 단점을 가지고 있다. |
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