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NTIS 바로가기전기학회논문지. The Transactions of the Korean Institute of Electrical Engineers. P, v.67 no.4, 2018년, pp.214 - 220
소순열 (Dept. of Electrical and Control Engineering, Mokpo National University)
Light sources induced by gas discharge using rare gases have been widely used in the thin film deposition, the surface modification and the polymer etching. A dielectric barrier discharge (DBD) has been developed in order to consistently emit light and control the wavelength of the emission light. H...
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핵심어 | 질문 | 논문에서 추출한 답변 |
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빛 광원을 이용한 산업에서는 어떤 문제점이 있는가? | 비활성 기체를 이용한 기체방전에서 발생된 빛 광원은 박막 필름 및 고농도 SiO2의 증착에 널리 사용되었고, 필름의 표면개선과 폴리머 에칭에도 이용되고 있다[1-3]. 그러나, 이러한 빛 광원을 이용한 산업에서는 광원의 효율이 낮고 높은 출력을 필요로 하는 등의 문제점을 안고 있고, 또한 수명이 긴 광원기구의 개발연구가 요구되었다. 이 문제점을 해결할 수 있는 방안 중의 하나로, 유전체장벽 방전 (DBD; Dielectric Barrier Discharge)을 이용한 연구가 활성화되었다[4-7]. | |
비활성 기체를 이용한 기체방전에서 발생된 빛 광원은 어디에 이용되고 있는가? | 비활성 기체를 이용한 기체방전에서 발생된 빛 광원은 박막 필름 및 고농도 SiO2의 증착에 널리 사용되었고, 필름의 표면개선과 폴리머 에칭에도 이용되고 있다[1-3]. 그러나, 이러한 빛 광원을 이용한 산업에서는 광원의 효율이 낮고 높은 출력을 필요로 하는 등의 문제점을 안고 있고, 또한 수명이 긴 광원기구의 개발연구가 요구되었다. | |
유전체장벽 방전으로 인한 어떤 특성을 세밀히 이해하는 것이 광원의 효율증대와 광원기구 제작에 매우 중요한 것으로 사료되는가? | 그러나, 광원기구의 향상을 위해서, DBD 방전에 대한 미시적 관점에서의 세밀한 연구가 더욱 필요하다. 특히, DBD 방전에 의한 여기입자들의 발생과 공간적 분포, 전자 및 이온의 하전입자들의 미시적 운동과 충돌반응의 특성을 세밀히 이해하는 것이 광원의 효율증대와 광원기구 제작에 매우 중요한 것으로 사료된다[8, 9]. |
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