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NTIS 바로가기한국방사선학회 논문지 = Journal of the Korean Society of Radiology, v.12 no.1, 2018년, pp.101 - 106
Multilayer mirrors have widely been used for monochromatization of X-ray with high reflection efficiency. The reflected X-ray energy or wavelength is determined by the d-spacing of a multilayer mirror and the incidence angle. The reflectivity critically depends on the number of bilayers and surface ...
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핵심어 | 질문 | 논문에서 추출한 답변 |
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다층박막거울의 설계인자에는 무엇이 있는가? | 다층박막거울의 설계인자로는 두께주기(d-spacing), 두께비(Thickness Ratio), 층수(Number of Bilayers), 표면 거칠기(Surface Roughness)가 있다.[4] 이 가운데 표면 거칠기는 엑스선의 반사율을 감소시키는데 매우 중요한 역할을 하기 때문에 높은 반사율을 가지는 다층박막거울을 설계 및 제작하기 위해서는 다층박막거울의 각 계면(Interface)에서의 표면 거칠기[6]를 이해할 필요가 있다. | |
다층박막거울이란 무엇인가? | 다층박막거울(Multilayer Mirror)은 기판(Substrate)위에 중원소(High Z-Element)와 경원소(Low Z-Element)가 번갈아 적층되어 있는 구조[1,2] 로 되어 있으며 브래그 조건 (Bragg Condition)을 만족하는 엑스선(X-ray)만을 반사시킴으로써 엑스선의 특성을 변화시키는 광학소자이다.[3] 다층박막거울은 엑스선의 단색화용도로 사용될 수 있고,[4] 넓은 에너지 영역을 반사시키도록 설계될 수 있다. | |
다층박막거울 제작시 규소층 위에 텅스텐이 적층되는 계면(W-Si Interface)과 텅스텐층 위에 규소가 적층되는 계면(Si-W Interface)의 상호 확산 비율이 다른 이유는 무엇인가? | 다층박막거울을 제작하는 관점에서 보면 텅스텐 중원소와 규소 경원소를 증착하는 과정에서 상당히 다른 물리 현상을 보인다. 텅스텐과 규소의 밀도비가 8.23으로 매우 크기 때문에 규소층 위에 텅스텐이 적층되는 계면(W-Si Interface)과 텅스텐층 위에 규소가 적층되는 계면(Si-W Interface)의 상호 확산 비율이 다르다. 상호확산을 포함한 표면 거칠 기에 대한 효과를 |
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