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E<SUP>2</SUP>M : Electrical & Electronic materials = 전기 전자와 첨단 소재, v.31 no.2, 2018년, pp.16 - 24
박정웅 (가천대학교 전기공학과)
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| 핵심어 | 질문 | 논문에서 추출한 답변 |
|---|---|---|
| LaAlO3(LAO)와 SrTiO3(STO)의 특징은? | LaAlO3(LAO)와 SrTiO3(STO)는 오랫기간 잘 알려져 있던 물질로 두 물질 모두 전도성을 가지고 있지 않고, 결정학적으로는 중심 대칭성을 가지고 있어 피에조 특성을 나타내지 않는 것으로 알려져 있었다. LaAlO3/SrTiO3 이종계면 에서의 2차원 전자가스 (2DEG)는 복합 산화물 재료 사이에 단원자 층으로 분리된 계면을 형성 시킬 수 있는 박막 성장 기술의 진보에 의해 가능 해졌는데, Ohmoto와 Hwang은 이 두가지 잘 알려진 물질들 사이의 경계면에 예기치 않은 전도성 시트가 형성 될 수 있다는 사실을 2004년 처음으로 보고했다 [1]. | |
| 복합 산화물 기반 2차원 전자 기체를 나노소자 개발에 사용할 수 있는 이유는? | 복합 산화물 기반 2차원 전자 기체는 리소그래피 없이 2 nm 선폭, 1 nm 깊이로 계면의 국부적인 전도 특성을 부도체에서 도체로 변화 시킬 수 있어, 리프로그래머블 광센서, 단전자 트랜지스터 등의 새로운 나노소자 개발이 가능할 것으로 기대된다. | |
| 10 nm급 이하의 고집적 소자 개발할 수 있는 방법은? | 집적소자의 개발 이후 소자는 계속 고집적 화/초소형화 되어 왔으나, 실리콘 자체의 물리적 특성이 한계에 도달 할 것으로 예측될 뿐만 아니라, 리소그래피도 광학적 한계에 달해 sub 10 nm급 이하의 고집적 소자 개발을 위한 새로운 기술을 필요로 한다. 이러한 요구조건을 충족시킬 수 있는 방법으로 2차원 반도체를 기반으로 한 나노소자를 들 수 있는데, 반도체에서 형성되는 2차원 전자 기체를 이용하여 실리콘보다 향상된 물성을 활용한 반도체 소자들이 개발되어 있으며 최근에는 그래핀 등을 이용한 소자기술 개발도 시도되고 있다. 그러나 실리콘, 반도체물질 2차원 전자 기체, 그래핀 기반 소자를 포함한 나노소자 대다수가 복잡한 광학 리소그래피와 공정기술을 필요로 할뿐 아니라, 리소그래피의 한계로 인해 10 nm 이하의 선폭 제작이 매우 어렵다. |
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