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E<SUP>2</SUP>M : Electrical & Electronic materials = 전기 전자와 첨단 소재, v.31 no.5, 2018년, pp.17 - 24
오준협 (한국기초과학지원연구원) , 장재혁 (한국기초과학지원연구원)
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| 핵심어 | 질문 | 논문에서 추출한 답변 |
|---|---|---|
| 투과전자현미경은 무엇인가? | 투과전자현미경(transmission electron microscopy; TEM)은 나노미터 영역에서 원자레벨의 수준까지 이미징 및 구조분석이 가능하며, 동시에 재료의 화학분석을 할 수 있는 Tool이다. 최근에는 전통적인 분석분야인 금속, 세라믹 뿐 아니라 바이오 및 고분자 등의 연구 분야로도 점차 확대되고 있다. | |
| 주사투과전자현미경을 최신 수차보정기와 함께 사용 시 이점은? | 주사투과전자현미경(scanning transmi -ssion electron microsocpy, STEM)은 투과전자현미경과 다르게 전자빔의 크기를 Å사이즈로 최소화하여 샘플을 스캔하면서 이미지를 얻으며, 최신의 수차보정기가 개발되면서 5차 수차 계수까지 보정을 통해 pm레벨의 고분해능 이미지 분석과 단원자 레벨의 화학분석이 가능하게 되었다 [1-3]. | |
| Z-contrast 이미지는 원소에 따라 어떻게 다르게 나타나는가? | 그림 1내에서, 파란색 원형으로 그려진 HAADF (high-angle annular dark field) 검출기는 스캔한 전자빔과 샘플의 원자핵에서 발생한 러더포드(rutherford) 산란을 수집하며, 샘플의 원자번호에 따른 Z-contrast 이미지를 형성한다. 따라서 상대적으로 무거운 원소는 높은 contrast를 가지게 되고, 상대적으로 가벼운 원소는 낮은 contrast를 보인다. 최신 개발된 ABF(annular bright field) 검출기를 통해 산소와 같은 경량원소까지 이미지로 동시에 얻을 수 있다 [2]. |
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