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NTIS 바로가기전기전자학회논문지 = Journal of IKEEE, v.24 no.3, 2020년, pp.735 - 742
정명진 (Dept. of Mechatronics Engineering, Korea Polytechnic University)
The pick & place module is used as a core module in the process equipment for producing and inspecting semiconductor components. The conventional pick & place module has the disadvantage that the precision and durability of the system are reduced and the size and weight of the module are increased b...
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핵심어 | 질문 | 논문에서 추출한 답변 |
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SMAC 사의 소형화를 위해 보이스 코일모터를 적용하여 상하직선운동을 구현한 Pick & Place 모듈의 한계는? | Jeon 은 반응표면법과 유한요소법을 이용하여 Pick & Place 모듈의 디텐트 힘 저감을 위한 리니어 모터의 고정자 치 형상을 찾는 방법을 제안하였다[5]. SMAC 사에서는 소형화를 위해 보이스 코일모터를 적용하여 상하직선운동을 구현한 Pick & Place 모듈을 적용하고 있으나[6], 추력과 이동거리에 제한이 있어 다양한 제조공정에 적용하는데 한계를 가지고 있다. | |
기존의 Pick & Place 모듈은 어떤 단점이 있는가? | 반도체 부품을 생산 및 검사하기 위한 다양한 공정 장비에서 상하직선운동과 회전운동을 동시에 수행하기 위한 Pick & Place 모듈이 핵심 모듈로 사용되고 있다. 기존의 Pick & Place 모듈은 회전운동을 직선운동으로 변환하는 변환장치를 사용하여 시스템의 정밀도 및 내구성이 저하되고 모듈의 크기와 무게가 증가되는 단점이 있다. 본 연구에서는 이와 같은 단점을 개선하여 변환장치 없이 상하직선운동을 구현하며, 평균 추력과 이동거리에 제한이 없는 선형모터를 적용한 Pick & Place 모듈을 제안하였다. | |
기존의 Pick & Place 모듈의 시스템의 정밀도 및 내구성이 저하되고 모듈의 크기와 무게가 증가되는 단점을 개선하기 위해 어떤 모듈을 제안했는가? | 기존의 Pick & Place 모듈은 회전운동을 직선운동으로 변환하는 변환장치를 사용하여 시스템의 정밀도 및 내구성이 저하되고 모듈의 크기와 무게가 증가되는 단점이 있다. 본 연구에서는 이와 같은 단점을 개선하여 변환장치 없이 상하직선운동을 구현하며, 평균 추력과 이동거리에 제한이 없는 선형모터를 적용한 Pick & Place 모듈을 제안하였다. 체적대비 추력비가 큰 코어 방식의 선형모터를 설계하기 위한 파라미터를 선정하고, 자기해석을 통해 설계 파라미터 변화에 따른 코깅힘의 영향을 분석하여 평균 추력을 유지하며 코깅힘을 저감할 수 있는 설계 파라미터 값을 선정하였다. |
M. Pfeffer, et al, "3D-Assembly of Molded Interconnect Devices with standard SMD pick & place machines using an active multi axis workpiece carrier," 2011 IEEE International Symposium on Assembly and Manufacturing, pp.1-6, 2011. DOI: 10.1109/ISAM.2011.5942362
S. David, T. Giles, G. J. Jasper, "Simple rules to modify pre-planned paths and improve gross robot motions associated with pick & place assembly tasks," Assembly Automation, vol.31 no.1, pp.69-78, 2011. DOI: 10.1108/01445151111104191
H. Gael, "Development of a methodology to improve the performance of multi-robot pick & place applications: From simulation to experimentation," Industrial Technology (ICIT), 2016 IEEE International Conference, pp.1960-1965, 2016. DOI: 10.1109/ICIT.2016.7475067
Y. G Bae, C. W Lee, J. Y Song, S. S Park, Y. S Jung, "Lightweight Picking System of high speed inspection system for semiconductor package," KSMTE Anual Spring Conference, pp.92-97, 2008.
Ah-Ram Jeon, Il-Kyo Lee, Jung-Ho Lee, "Optimum Design Criteria of Miniature Type Linear Servo Motor of Precise Pick & Place Module for Detent Force Reduction Using Response Surface Methodology & Finite Element Method," The 41st KIEE Summer Conference, pp.818-819, 2010.
SMAC Corporation, "Linear Rotary Actuators" https://www.smac-mca.com/products/linear-rotary-actuators, 2020.
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