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엑스선 그레이 스케일 리소그래피를 활용한 반원형 단면의 서브 마이크로 선 패턴의 바이오멤스 플랫폼 응용
X-ray grayscale lithography for sub-micron lines with cross sectional hemisphere for Bio-MEMS application 원문보기

Journal of sensor science and technology = 센서학회지, v.30 no.3, 2021년, pp.170 - 174  

김강현 (포항공과대학교 기계공학과) ,  김종현 (포항공과대학교 기계공학과) ,  남효영 (포항공과대학교 창의 IT 융합공학과) ,  김수현 (포항공과대학교 기계공학과) ,  임근배 (포항공과대학교 기계공학과)

Abstract AI-Helper 아이콘AI-Helper

As the rising attention to the medical and healthcare issue, Bio-MEMS (Micro electro mechanical systems) platform such as bio sensor, cell culture system, and microfluidics device has been studied extensively. Bio-MEMS platform mostly has high resolution structure made by biocompatible material such...

주제어

참고문헌 (12)

  1. B. Ziaie, "Hard and soft micromachining for BioMEMS: review of techniques and examples of applications in micro-fluidics and drug delivery" Adv. Drug Del. Rev., Vol. 56, No. 2, pp. 145-172, 2004. 

  2. B. J. Kim and E. Meng, "Review of polymer MEMS micromachining" J. Micromech. Microeng., Vol. 26, No. 1, pp. 013001, 2016. 

  3. T. Leichle, L. Nicu, and T. Alava, "MEMS Biosensors and COVID-19: Missed Opportunity" ACS Sens., Vol. 5, No. 11, pp. 3297-3305, 2020. 

  4. F. Marvi and K. Jafari, "A Measurement Platform for Label-Free Detection of Biomolecules Based on a Novel Optical BioMEMS Sensor" IEEE Trans. Instrum. Meas., Vol. 70, pp. 1-7, 2021. 

  5. F. Gao, J. Luo, Y. Song, E. He, Y. Zhang, G. Xiao, and X. Cai, "Microelectrode arrays for monitoring neural activity in neural stem cells with modulation by glutamate in vitro" Nanotechnol. Precis. Eng., Vol. 3, No. 2, pp. 69-74, 2020. 

  6. H. Jeon, S. Kim, and G. Lim, "Electrical force-based continuous cell lysis and sample separation techniques for development of integrated microfluidic cell analysis system: A review" Microelectron. Eng., Vol. 198, pp. 55-72, 2018. 

  7. C. Didier, A. Kundu, and S. Rajaraman, "Capabilities and limitations of 3D printed microserpentines and integrated 3D electrodes for stretchable and conformable biosensor applications" Microsyst. Nanoeng., Vol. 6, No. 1, pp. 15, 2020. 

  8. J. Kim, D. C. Joy, and S. Y. Lee, "Controlling resist thickness and etch depth for fabrication of 3D structures in electron-beam grayscale lithography", Microelectron. Eng.,Vol. 84, No. 12, pp. 2859, 2007. 

  9. J. H. Lee, W. S. Choi, K. H. Lee, and J.-B. Yoon, "A simple and effective fabrication method for various 3D micro-structures: backside 3D diffuser lithography" J. Micromech. Microeng., Vol. 18, No. 12, pp. 125015, 2008. 

  10. M. Im, H. Im, J. H. Lee, J. B. Yoon, and Y. K. Choi, "A robust superhydrophobic and superoleophobic surface with inverse-trapezoidal microstructures on a large transparent flexible substrate" Soft Matter, Vol. 6, No. 7, pp. 1401, 2010 

  11. H. Mekaru, "Performance of SU-8 Membrane Suitable for Deep X-Ray Grayscale Lithography" Micromachines, Vol. 6, No. 2, pp. 252-265, 2015. 

  12. B. H. Jo, L. M. Van Lerberghe, K. M. Motsegood, and D. J. Beebe, "Three-dimensional micro-channel fabrication in polydimethylsiloxane (PDMS) elastomer" J. Microelectromech. Syst., Vol. 9, No. 1, pp. 76-81, 2000. 

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