[논문]금속층 두께에 따른 ITO/Ag/ITO 다층 투명 전극의 발열 특성 연구

민혜진; 강예지나; 손혜원; 신소현; 황민호; 이현용

doi:10.4313/jkem.2022.35.1.6

[국내논문] 금속층 두께에 따른 ITO/Ag/ITO 다층 투명 전극의 발열 특성 연구
A Study on the Exothermic Properties of ITO/Ag/ITO Multilayer Transparent Electrode Depending on Metal Layer Thickness 원문보기

전기전자재료학회논문지 = Journal of the Korean institute of electronic material engineers, v.35 no.1, 2022년, pp.37 - 43

민혜진 (전남대학교 화학공학부) , 강예지나 (전남대학교 화학공학부) , 손혜원 (전남대학교 화학공학부) , 신소현 (전남대학교 화학공학부) , 황민호 (전남대학교 화학공학부) , 이현용 (전남대학교 화학공학부)

Abstract ▼ AI-Helper

In this study, we investigated the optical, electrical and exothermic characteristics of ITO/Ag/ITO multilayer structures prepared with various Ag thicknesses on quartz and PI substrates. The transparent conducting properties of the ITO/Ag/ITO multilayer films depended on the thickness of the mid-layer metal film. The ITO/Ag (14 nm)/ITO showed the highest Haccke's figure of merit (FOM) of approximately 19.3×10-3 Ω-1. In addition, the exothermic property depended on the substrate. For an applied voltage of 3.7 V, the ITO/Ag (14 nm)/ITO multilayers on quartz and PI substrates were heated up to 110℃ and 200℃, respectively. The bending tests demonstrated a comparable flexibility of the ITO/Ag/IT multilayer to other transparent electrodes, indicating the potential of ITO/Ag/ITO multilayer as a flexible transparent conducting heater.

주제어

표/그림 (10)

표 Table 1. Deposition parameters of ITO and Ag films.
그림 Fig. 1. FE-SEM images of the Ag thin films with various thickness.
그림 Fig. 2. Sheet resistance of Ag thin films as a function of the Ag thickness.
그림 Fig. 3. Transmittance of the Ag thin films deposited on glass substrate as a function of thickness.
그림 Fig. 4. Optoelectronic properties of ITO/Ag/ITO multilayer structure thin films with various Ag thickness: (a) transmittance spectra, (b) sheet resistance and transmittance, and (c) figure of merit.
그림 Fig. 5. (a) Schematic diagram of samples to evaluate exothermic profiles and the Ag-thickness dependent temperature profiles of the ITO/Ag/ITO on (b) quartz, and (c) PI substrates.
그림 Fig. 6. Exothermic profiles of ITO/Ag (14 nm)/ITO on (b) quartz, and (c) PI substrates.
그림 Fig. 7. Exothermic profile of a 140 nm thick ITO single layer on quartz.
그림 Fig. 8. (a) Exothermic profiles of the ITO/Ag/ITO/PI substrate obtained via bending test and voltage-dependent saturation temperatures of the ITO/Ag/ITO on (b) PI, and (c) quartz substrates.
그림 Fig. 9. Defrosting test results of the ITO/Ag/ITO multilayer before [(a), (c)] and after [(b), (d)] frost formation.

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