[논문]비정질 합금의 마이크로 패턴 레이저 가공

김한; 박종욱

doi:10.14775/ksmpe.2022.21.04.077

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[국내논문] 비정질 합금의 마이크로 패턴 레이저 가공
Micro-pattern Fabrication of Amorphous Alloy by Laser Beam Machining 원문보기

한국기계가공학회지 = Journal of the Korean Society of Manufacturing Process Engineers, v.21 no.4, 2022년, pp.77 - 83

김한 (동양미래대학교 기계공학과) , 박종욱 (동양미래대학교 기계설계공학과)

Abstract ▼ AI-Helper

Amorphous alloys exhibit excellent mechanical properties; therefore, application technology development is being attempted in various fields. However, industrial use of application technology is limited owing to the limitations in fabrication. In this study, micropattern fabrication of an amorphous alloy was conducted using laser beam machining. Although microhole fabrication is possible without the deformation of the amorphous phase through nanosecond pulsed laser beam machining, there are limitations in the generation of recast layers and spatters. In cover plate laser beam machining (c-LBM), a cover plate is used to reduce the thermal deformation and processing area. Therefore, it is possible to fabricate holes at the level of several micrometers. In this study, it was confirmed that recast layers are hardly generated in c-LBM. Furthermore, square-shaped micropatterns were successfully fabricated using c-LBM.

Keyword

참고문헌 (10)

Park, E.-S., "Series I: Foundation and Application of Amorphous Metals," Journal of Korea Foundry Society, Vol. 29, pp. 53-58, 2009.
Park, K. H. and Kim, Y. S., "Trend in Application Technology of Metallic Glass," KIC News, Vol. 19, No. 4, pp. 1-11, 2016.
Inoue, A. and Takeuchi, A., "Recent development and application products of bulk glassy alloys," Acta Materialia, Vol. 59, Issue. 6, pp. 2243-2267, 2011.

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Kumar, Golden, et.al., "Bulk Metallic Glass: The Smaller the Better," ADVANCED MATERIALS, Vol. 23, pp. 461-476, 2011.

상세보기
Yeo, S. Ho. et.al., "Processing of Zirconium -Based Bulk Metallic Glass(BMG) Using Micro Electrical Discharge Machining(Micro-EDM)," Materials and Manufacturing Processes, Vol. 24, pp. 1242-1248, 2009.

상세보기
Koza, J. A., et al., "Electrochemical micromachining of a Zr-based bulk metallic glass using a micro-tool electrode technique," Intermetallics, Vol. 19, pp. 437-444, 2011.

상세보기
Lin, Hsuan-Kai, et al., "Pulse laser micromachining of Mg-Cu-Gd bulk metallic glass," Optics and Lasers in Engineering, Vol. 50, Issue. 6, pp. 883-886, 2012.
Korosy, G., et al., "Evaluation of XRD Analysis of Amorphous Alloys," Materials Science Forum, Vol. 729, pp. 419-423, 2012.

상세보기
Ha, K. H. et al., "Fabrication of a micro- hole array on metal foil by nanosecond pulsed laser beam machining using a cover plate" Journal of Micromechanics and Microengineering, Vol. 25, No. 2, pp. 27001, 2015.
Kwon, K., et al.., "Precise glass microstructuring with laser induced backside wet etching using error-compensating scan path," Journal of Materials Processing Technology, Vol. 291, 2021.

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