[논문]ZnO/Cu/ZnO 박막의 차량용 저방사 및 전기광학적 특성 연구

이연학; 김선경; 엄태용; 정용하; 소상우; 손영길; 손동일; 김대일

doi:10.5695/jsse.2023.56.6.451

ZnO/Cu/ZnO 박막의 차량용 저방사 및 전기광학적 특성 연구
The emissivity and opto-electrical properties of ZnO/Cu/ZnO thin films for the vehicle applications 원문보기

한국표면공학회지 = Journal of the Korean institute of surface engineering, v.56 no.6, 2023년, pp.451 - 456

이연학 (울산대학교 첨단소재공학부) , 김선경 (동국실업주식회사) , 엄태용 (동국실업주식회사) , 정용하 (울산테크노파크 자동차기술지원단) , 소상우 (울산테크노파크 자동차기술지원단) , 손영길 (나라엠앤디(주)) , 손동일 (동국실업주식회사) , 김대일 (울산대학교 첨단소재공학부)

Abstract ▼ AI-Helper

Transparent conducting films having a three layered structure of ZnO/Cu/ZnO (ZCZ) were deposited onto the glass substrates by using RF and DC magnetron sputtering at room temperature. The emissivity and opto-electrical properties of the films were investigated with a varying thickness(5, 10, 15 nm) of the Cu interlayer. With increasing the Cu thickness to 15 nm, the films showed a enhanced electrical properties. Although ZnO 30/Cu 15/ZnO 30 nm film shows a lower resistivity of 5.2×10-5 Ωcm, it's visible transmittance is deteriorated by increased optical absorbtion of the films. In addition, X-ray diffraction patterns indicated that the insertion of Cu interlayer improve the grain size of ZnO films, which is favor for the electrical and optical properties of transparent conducting films. From the observed low emissivity of the films, it is concluded that the ZCZ thin films with optimal thickness of Cu interlayer can be applied effectively for the car's window coating materials.

주제어

표/그림 (9)

표 Table 1. Experimental conditions of ZnO and ZnO/Cu/ZnO (ZCZ) thin films.
표 Table 2. Compared grain size of ZnO and ZCZ thin films.
그림 Fig. 1. The XPS spectra of ZnO 30/Cu 10/ZnO 30 nm thin film.
그림 Fig. 2. The XRD pattern of ZnO and ZCZ thin films. (a) ZnO 70 nm, (b) ZnO 30/Cu 5/ZnO 30 nm, (c) ZnO 30/Cu 10/ZnO 30 nm, (d) ZnO 30/Cu 15 /ZnO 30 nm.
그림 Fig. 3. The visible transmittance(a) and optical absorption(b) of ZnO and ZCZ thin films. (a) ZnO 70 nm, (b) ZnO 30 nm/Cu 5 nm/ZnO 30 nm, (c) ZnO 30 nm/Cu 10 nm/ZnO 30 nm, (d) ZnO 30 nm/Cu 15 nm/
표 Table 3. Electrical properties of ZnO and ZCZ thin films.
그림 Fig. 4. The optical transmittance of ZnO and ZCZ thin films in the near- infrared wavelength range. (a) ZnO 70 nm, (b) ZnO 30 nm/Cu 5 nm/ZnO 30 nm, (c) ZnO 30 nm/Cu 10 nm/ZnO 30 nm, (d) ZnO 30 nm/Cu 15 nm/ ZnO 30 nm.
그림 Fig. 5. Surface roughness of ZnO and ZCZ thin films. (a) ZnO 70 nm, (b) ZnO 30 nm/Cu 5 nm/ZnO 30 nm, (c) ZnO 30 nm/Cu 10 nm/ZnO 30 nm, (d) ZnO 30 nm/Cu 15 nm/ZnO 30 nm.
표 Table 4. Compared figure of merit of ZnO and ZCZ thin films.

참고문헌 (10)

F. Djeffal, H. Ferhati, L. Foughali, A. Ben？djerad, A. Benhaya, A. Saidi, Efficiency？improvement of CIGS solar cells using？RF sputtered TCO/Ag/TCO thin-film？as prospective buffer layer, Ceramics？International, 48 (2022) 20194-20200.

상세보기
J. Roh, J. Ahn, B. Kim, H. Jeon, S. K. Seo,？S. H. Kim, S. Lee, Thermal emissivity？changes as a function of degree of？flakes alignment on the graphite？surface, Journal of the Korean Institute？of Surface Engineering, 42 (2009) 99-101.
M. Yahya, M. R. Fadavieslam, Effect？of oxygen plasma on ITO surface and？OLED physical properties, Microelectronics Reliability, 144 (2023)？114981.
Q. Yu, H. Zhao, Y. Zhao, The study？of optical-electrical properties of？ZnO(AZO)/Si heterojunction, Current？Applied Physics, 57 (2024) 111-118.
J. H. Jeon, T. Gong, S..K. Kim, S. Kim, S.？Y. Kim, D. Kim, Influence of a Ni buffer？layer on the optical and electrical？properties of GZO/Ni bi-layered films,？Journal of Alloys and Compounds, 639？(2015) 1-4.

상세보기
Y. S. Kim, J. H. Park, D. H. Choi, H. S.？Jang, J. H, Lee, D. Kim, ITO/Au/ITO？multilayer thin films for transparent？conducting electrode applications,？Applied Surface Science, 254 (2007)？1524-1527.

상세보기
D. M. Lee, J. S. Jang, J. Kim, I. Lee, B.？H. Lee, E, Jo, J, H, Kim, Characteristics？of an AZO/Ag/AZO transparent？conducting electrode fabricated by？magnetron sputtering for application？in Cu 2 ZnSn(S,Se) 4 (CZTSSe) solar cells,？Korean Journal of Materials Research,？30 (2020) 285-291.

원문보기 상세보기
B. D. Cullity, Elements of X-ray diffraction(second edition), Addison-Wesley, (1978) 101-102.
J. K. Jang, H. Kim, J. Choi, Y. Lee, S. Heo,？Y. Kim, Y. Kong, D. Kim, Influence of Ag？interlayer on the optical and electrical？properties of SnO 2 thin films, Journal？of the Korean Institute of Surface？Engineering, 54 (2021) 119-123.
G. Haacke, New figure of merit for？transparent conductors, Journal of Applied？Physics, 47 (1976) 4086-4089.

상세보기

내보내기 구분	파일저장 인쇄 메일전송
구성항목	기본정보 상세정보 관리번호, 논문명, 저널/프로시딩명, 저자 , 발행년, 권, 호, 시작페이지, 끝페이지, 발행기관 관리번호, 논문명, 대등논문명, 저자 , 저널/프로시딩명, 발행기관, 발행년, 발행언어, 권, 호, 시작페이지, 끝페이지, ISBN, ISSN, 주제분야, 키워드, 초록(한글), 초록(영문), 저자(소속기관)
저장형식	Text(ASCII format) Excel format RefWorks Direct Export RIS format (for Reference Manager, ProCite, EndNote), Scholar's Aids, Mendeley
메일정보	받는사람 (필수) @ 보내는사람 (선택) @ 제목 내용 KISTI 검색결과 이메일 서비스
안내	총 건의 자료가 검색되었습니다. 다운받으실 자료의 인덱스를 입력하세요. (1-10,000) 검색결과의 순서대로 최대 10,000건 까지 다운로드가 가능합니다. 데이타가 많을 경우 속도가 느려질 수 있습니다.(최대 2~3분 소요) 다운로드 파일은 UTF-8 형태로 저장됩니다. 파일의 내용이 제대로 보이지 않을실 때는 웹브라우저 상단의 보기 -> 인코딩 -> 자동선택 여부를 확인하십시오. ~ Text(ASCII format) Excel format

연합인증