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[국내논문] 공기중 미세입자 측정 데이터 분석 및 통계 유의차 분석
Airborne Fine Particle Measurement Data Analysis and Statistical Significance Analysis 원문보기

반도체디스플레이기술학회지 = Journal of the semiconductor & display technology, v.22 no.1, 2023년, pp.1 - 5  

안성준 (제주한라대학교 인공지능공학과) ,  문석환 (제주한라대학교 인공지능공학과)

Abstract ▼ AI-Helper 아이콘AI-Helper

Most of the production process is performed in a cleanroom in the case of facilities that produce semiconductor chips or display panels. Therefore, environmental management of cleanrooms is very important for product yield and quality control. Among them, airborne particles are a representative mana...

Keyword

#Significant Test   #Sequential Particle Monitoring System   #Cleanroom   #Facility Monitoring System  

참고문헌 (10)

  1. International Organization for Standardization (ISO).？ISO 14644-1, Cleanrooms and associate controlled environments-Part 1: classification of air cleanliness. 1999. 

  2. Kwang-Min Choi, Ji-Eun Lee, Kwi-Young Cho, Kwan-Sick Kim, Soo-Hun Cho, "Clean Room Structure, Air？Conditioning and Contamination Control Systems in the？Semiconductor Fabrication Process" J. of The Korean？Society of Occupational and Environmental Hygiene,？Vol.25(2), pp. 202-210, 2015. 

  3. Sung Jun An, "Advancement of Sequential Particle？Monitoring System" J. of the Semiconductor & Display？Technology, Vol.21(1), pp. 17-21, 2022. 

  4. Seung-Ki Chae, " Particle Measurement and Analysis in？Semiconductor Manufacturing Process " J. of The？Korean Society of Mechanical Engineers, Vol.39(5), pp.？398-404, 1995. 

  5. PMS, "Airborne Particle Measurements: 100 LPM vs. 1？CFM Particle Counters in a Semiconductor Cleanroom？Environment", PMS Application Note 211 (2020). 

  6. PMS, "Particle Transportation", PMS Application Note？201 (2018). 

  7. COX, David R. Statistical significance tests. British？journal of clinical pharmacology, 1982, 14.3: 325. 

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  8. Park Hyungyu, Park Seonghyun, Seo Janghoo, "Independence Test for Particle Intervals in Lagrangian based？CFD Using Statistical Analysis" J. of Korean Institute of？Architectural Sustainable Environment and Building？Systems, Vol.16(2), pp. 173-183, 2022. 

  9. Lee Sang Hyuk, Lee Jong Won, Park Ki Soo, Lee Su-Hyung, Park Hee Mun, "Statistical Analysis of Characteristics of Fine Particulate Matter Concentrations？Considering Weather Conditions" International journal？of highway engineering, Vol.22(5), pp. 37-45, 2020. 

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  10. Kyoungjjn Kim, Joong-Youn Park, "Dispersion Characteristics of Nonspherical Fume Micro-Particles in？Laser Line Machining in Terms of Particle Sphericity" J.？of the Semiconductor & Display Technology, Vol.21(2),？pp. 1-6, 2022. 

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