[논문]디스플레이 공정 플라즈마 진단 기술

염희중; 김정형; 이효창

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[국내논문] 디스플레이 공정 플라즈마 진단 기술

인포메이션 디스플레이 = Information display, v.25 no.2, 2024년, pp.23 - 28

염희중 (한국표준과학연구원 전략기술연구소 반도체디스플레이측정그룹) , 김정형 (한국표준과학연구원 전략기술연구소 반도체디스플레이측정그룹) , 이효창 (한국항공대학교 항공전자정보공학부)

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참고문헌 (26)

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V. M. Donnelly and A. Kornblit, J. Vac. Sci. Technol. A Vacuum, Surfaces, Film. 31 050825 (2013)？
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J. H. Kim, K. H. Chung and Y. H. Shin Metrologia42 110-4 (2005)？
J. H. Kim, S. J. You, D. J. Seong and Y. H. Shin, Appl. Phys. Lett. 91 201502 (2007)？
D. W. Kim, S. J. You, J. H. Kim, H. Y. Chang and W. Y. Oh Phys. Plasmas 21 (2014)？
K. H. You, S. J. You, D. W. Kim, B. K. Na, B. H. Seo, J. H. Kim and H. Y. Chang, Phys. Plasmas 23 (2016)？
D. W. Kim, S. J. You, S. J. Kim, J. H. Kim, W. S. Kang and M. Hur, Plasma Sources Sci. Technol. 28 015004 (2019)？
H. J. Yeom, J. H. Kim, D. H. Choi, E. S. Choi, M. Y. Yoon, D. J. Seong, S. J. You and H. C. Lee, Plasma Sources Sci. Technol. 29 035016 (2020)？
Y. C. Kim, S. H. Jang, S. J. Oh, H. C. Lee andC. W. Chung, Rev. Sci. Instrum. 84 1 -8 (2013)？
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C. Schulz, T. Styrnoll, P. Awakowicz and I. Rolfes, IEEE Trans. Instrum. Meas. 64 857 - 64 (2015)

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H. J. Yeom, M. Y. Yoon, G. S. Chae, J. H. Kim, S. J. You and H. C. Lee, Appl. Phys. Lett. 122 114103 (2023)？
H. J. Yeom, G. S. Chae, J. H. Kim, S. J. You andH. C. Lee, J. Appl. Phys. 133 153302 (2023)

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