[논문]Role of hydrogen dilution in improvement of a-SiGe:H alloys

Ganguly, Gautam; Matsuda, Akihisa

doi:10.1016/0022-3093(95)00763-6

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[해외논문] Role of hydrogen dilution in improvement of a-SiGe:H alloys

Journal of non-crystalline solids, v.198/200 pt.1, 1996년, pp.559 - 562

Ganguly, Gautam (Corresponding author. Tel.: +81-298 585423) , Matsuda, Akihisa (Fax: +81-298 585425)

Abstract ▼ AI-Helper

AbstractThe reasons for the improvement of the properties of a-SiGe:H when using hydrogen diluted gas mixtures are reappraised and it is suggested that reduction of the contribution of short-lifetime-radicals to film-growth is the responsible cause. Using disilane-germane gas mixtures, very low power density and reasonably high pressure, the preferential depletion of germane to prepare material which is comparable to that prepared using hydrogen-diluted silane-germane gas mixtures has been avoided.

참고문헌 (9)

Appl. Phys. Lett. Matsuda 47 1061 1985 10.1063/1.96379

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Jpn. J. Appl. Phys. Matsuda 25 L54 1986 10.1143/JJAP.25.L54

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Yang 380 1994 IEEE Proc. First World Conference on Photovoltaic Energy Convention
J. Vac. Sci. Technol. Czarnetzki A12 831 1994 10.1116/1.578831

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Matsuda 1 1995 Tech. Digest of the Eighth ‘Sunshine’ Workshop on Thin Film Solar Cells
Jpn. J. Appl. Phys. Tachibana 33 4329 1994 10.1143/JJAP.33.4329

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Ganguly 258 39 1992
Jpn. J. Appl. Phys. Morimoto 20 L 1981
J. Appl. Phys. Stutzmann 66 569 1989 10.1063/1.343574

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