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NTIS 바로가기Journal of non-crystalline solids, v.198/200 pt.1, 1996년, pp.559 - 562
Ganguly, Gautam (Corresponding author. Tel.: +81-298 585423) , Matsuda, Akihisa (Fax: +81-298 585425)
AbstractThe reasons for the improvement of the properties of a-SiGe:H when using hydrogen diluted gas mixtures are reappraised and it is suggested that reduction of the contribution of short-lifetime-radicals to film-growth is the responsible cause. Using disilane-germane gas mixtures, very low powe...
Appl. Phys. Lett. Matsuda 47 1061 1985 10.1063/1.96379
Jpn. J. Appl. Phys. Matsuda 25 L54 1986 10.1143/JJAP.25.L54
Yang 380 1994 IEEE Proc. First World Conference on Photovoltaic Energy Convention
J. Vac. Sci. Technol. Czarnetzki A12 831 1994 10.1116/1.578831
Matsuda 1 1995 Tech. Digest of the Eighth ‘Sunshine’ Workshop on Thin Film Solar Cells
Jpn. J. Appl. Phys. Tachibana 33 4329 1994 10.1143/JJAP.33.4329
Ganguly 258 39 1992
Jpn. J. Appl. Phys. Morimoto 20 L 1981
J. Appl. Phys. Stutzmann 66 569 1989 10.1063/1.343574
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