[논문]Laser direct writing of gold to repair defective lines in thin-film metallizations

doi:10.1016/0169-4332(93)90484-S

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[해외논문] Laser direct writing of gold to repair defective lines in thin-film metallizations

Applied surface science, v.69 no.1/4, 1993년, pp.69 - 74

Metzger, D. (Forschungsschwerpunkt Technologien der Mikroperipherik, TU Berlin, Sekr. TIB 4) , Reichl, H. (Forschungsschwerpunkt Technologien der Mikroperipherik, TU Berlin, Sekr. TIB 4)

Abstract ▼ AI-Helper

AbstractLaser chemical vapour deposition (LCVD) with dimethylgold hexafluoroacetylacetonate was used to repair defective lines in thin-film metallizations on alumina ceramic and polyimide. A process is described to deposit gold on polyimide and various substrates. Different patterns were deposited. Resistivities on polyimide have been achieved which are lower than 4.7 μΩ·cm, which is twice the value of bulk gold. Bond strengths of 10 N/mm2 were measured on polyimide. With this method contacts have been produced to thin-film gold metallizations. Contact resistances have been measured in the range of 5–10 mΩ.

참고문헌 (10)

Metzger 90 325 1990
Ehrlich 51 1989 Laser Microfabrication
Appl. Phys. Lett. Baum 47 538 1985 10.1063/1.96119

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J. Vac. Sci. Technol. B Baum 4 1187 1986 10.1116/1.583481

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Mater. Res. Soc. Symp. Proc. Arjavalingam 101 81 1988 10.1557/PROC-101-81

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Appl. Phys. Lett. Gross 47 923 1985 10.1063/1.95981

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Mater. Res. Soc. Symp. Proc. Holding 75 165 1987 10.1557/PROC-75-165

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J. Appl. Phys. Gross 60 529 1986 10.1063/1.337442

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Appl. Phys. Lett. Jubber 55 1477 1989 10.1063/1.101585

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Mater. Res. Soc. Symp. Proc. Miracky 192 547 1989

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