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[해외논문] Optoelectronic properties of highly conductive microcrystalline SiC produced by laser crystallisation of amorphous SiC

Journal of non-crystalline solids, v.198/200 pt.2, 1996년, pp.907 - 910  

Lau, S.P. (Corresponding author. Fax: +44-1792-295244) ,  Marshall, J.M. (Electronic Materials Centre, Department of Materials Engineering, University of Wales Swansea, Singleton Park, Swansea SA2 8PP, UK) ,  Tessler, L.R. (Instituto de Fisica, Universidade Estadual de Campinas, C.P. 6165, 13083-970 Campinas SP, Brazil)

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AbstractThe optoelectronic properties of undoped and doped microcrystalline silicon carbide thin films, prepared by excimer (ArF) laser crystallisation of plasma enhanced chemical vapour deposited hydrogenated amorphous silicon carbide, are analysed. All films show more than six orders of magnitude ...

참고문헌 (11)

  1. J. Appl. Phys. Matsumoto 67 6538 1990 10.1063/1.345131 

  2. J. Non-Cryst. Solids Kruangam 97-98 293 1987 10.1016/0022-3093(87)90070-6 

  3. Futagi 283 389 1993 

  4. J. Appl. Phys. Demichelis 72 1327 1992 10.1063/1.351742 

  5. J. Non-Cryst. Solids Lau 164-166 813 1993 10.1016/0022-3093(93)91121-I 

  6. Lau 339 647 1994 

  7. Phil. Mag. B Lau 1995 

  8. Appl. Surf. Sci. Fogarassy 69 231 1993 10.1016/0169-4332(93)90510-I 

  9. Appl. Phys. Lett. El-Kader 64 2555 1994 10.1063/1.111572 

  10. Appl. Phys. Lett. Matsumoto 42 226 1994 10.1063/1.111979 

  11. Lau 1995 

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