[논문]Structure-related optical properties of laser-deposited BaxSr1−xTiO3 thin films grown on MgO (001) substrates

doi:10.1016/S0040-6090(97)00015-1

[해외논문] Structure-related optical properties of laser-deposited BaxSr1−xTiO3 thin films grown on MgO (001) substrates

Thin solid films, v.301 no.1/2, 1997년, pp.203 - 210

Thielsch, R. (Institute of Solid State Physics and Materials Science, Helmholtzstr. 20, D-01169 Dresden, Germany) , Kaemmer, K. (Corresponding author. Tel: +49 351 4659 478) , Holzapfel, B. (fax: +49 351 4658 541) , Schultz, L. (email: k.kaemmer@ifw-dresden.de)

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AbstractThin films of BaxSr1−xTiO3 (BST), with 0≤x≤1, were grown on MgO (001) substrates by off-axis laser deposition at elevated substrate temperatures. The influence of the growth temperature and the film composition on the crystalline and morphological properties (film structure, grain size and shape, surface roughness), as well as on the refractive index n (λ=550 nm) and the optical band gap energy, were studied by X-ray diffraction (XRD), atomic force microscopy (AFM), scanning electron microscopy (SEM) and UV–vis spectral reflectometry. The dispersion of the refractive index was analyzed in terms of the parameters Eo and Ed of the single oscillator dispersion model of Wemple and DiDomenico. The films with x<1 show epitaxial growth of close-packed columnar grains with smooth surfaces and near-bulk optical properties, whereas the packing density of pure BaTiO3 films seems to be reduced and the surface roughness is increased. A relative decrease in the sticking coefficient of the ad-molecules in the temperature range 730–840 °C was found for Ba0.65Sr0.35TiO3.

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