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NTIS 바로가기Journal of vacuum science & technology. A, Vacuum, surfaces, and films, v.18 no.6, 2000년, pp.2806 - 2814
Berry, Lee (Oak Ridge National Laboratory, Box 2009, Oak Ridge, Tennessee 37831) , Maynard, Helen (Bell Laboratories, Lucent Technologies, 700 Mountain Avenue, Murray Hill, New Jersey 07974) , Miller, Paul (Sandia National Laboratories, Box 5800, Albuquerque, New Mexico 87185-1423) , Moore, Tony (Oak Ridge National Laboratory, Box 2009, Oak Ridge, Tennessee 37831) , Pendley, Michael (International SEMATECH, 2706 Montopolis Drive, Austin, Texas 78741) , Resta, Victoria (International SEMATECH, 2706 Montopolis Drive, Austin, Texas 78741) , Sparks, Dennis (Oak Ridge National Laboratory, Box 2009, Oak Ridge, Tennessee 37831) , Yang, Qingyun (International SEMATECH, 2706 Montopolis Drive, Austin, Texas 78741)
Radio frequency (rf) power is commonly applied to the chuck of a high-density plasma reactor in order to extract ions and to control the energy of the ions used for the fabrication of microelectronic devices. In many cases, the temporal shape of the rf wave form largely determines the shape of the s...
J. Appl. Phys. 85 3966 1999 10.1063/1.370298
J. Vac. Sci. Technol. A 15 1881 1997 10.1116/1.580655
J. Vac. Sci. Technol. A 17 26 1999 10.1116/1.582108
J. Appl. Phys. 82 3689 1997 10.1063/1.365732
J. Appl. Phys. 88 643 2000 10.1063/1.373715
J. Appl. Phys. 71 1171 1992 10.1063/1.351283
J. Vac. Sci. Technol. A 12 323 1994 10.1116/1.578876
Appl. Phys. Lett. 68 10 1996 10.1063/1.116772
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