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[해외논문] Electrical, optical, and structural characteristics of ITO thin films by krypton and oxygen dual ion-beam assisted evaporation at room temperature

Thin solid films, v.377/378, 2000년, pp.115 - 121  

Kim, H.J. (Corresponding author. Tel.: +82-331-290-7429) ,  Bae, J.W. (fax: +82-331-290-7410) ,  Kim, J.S. (Department of Materials Engineering, Sungkyunkwan University, Suwon, Kyunggi-do 440-746, South Korea) ,  Kim, K.S. (Department of Materials Engineering, Sungkyunkwan University, Suwon, Kyunggi-do 440-746, South Korea) ,  Jang, Y.C. (Department of Materials Engineering, Sungkyunkwan University, Suwon, Kyunggi-do 440-746, South Korea) ,  Yeom, G.Y. (Department of Materials Engineering, Sungkyunkwan University, Suwon, Kyunggi-do 440-746, South Korea) ,  Lee, N.-E. (Department of Materials Engineering, Sungkyunkwan University, Suwon, Kyunggi-do 440-746, South Korea)

Abstract AI-Helper 아이콘AI-Helper

AbstractTransparent conducting tin-doped indium oxide (ITO) thin films on polycarbonate and glass substrates were deposited without substrate heating and post-deposition annealing using a dual ion-beam assisted evaporation technique, where the bombardment of the growing film surfaces during electron...

주제어

참고문헌 (19)

  1. Appl. Phys. Lett. Kim 74 23 3444 1999 10.1063/1.124122 

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  3. 10.1063/1.367025 R.B.H. Tahar, Takayuki, Y. Takahashi, J. Appl. Phys. 83 (5) (1998) 2631. 

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  19. Vacuum Meng 46 7 673 1995 10.1016/0042-207X(94)00150-2 

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