최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기Thin solid films, v.377/378, 2000년, pp.74 - 80
Takikawa, Hirofumi (Corresponding author. Tel.: +81-532-44-6727) , Kimura, Keisaku (fax: +81-532-44-6757) , Miyano, Ryuichi (Department of Electrical and Electronic Engineering, Toyohashi University of Technology, Toyohashi, Aichi 441-8580, Japan) , Sakakibara, Tateki (Department of Electrical and Electronic Engineering, Toyohashi University of Technology, Toyohashi, Aichi 441-8580, Japan)
AbstractZinc oxide (ZnO) thin films were prepared on a borosilicate glass substrate by a steered and shielded reactive vacuum arc deposition method. The cathode spot was driven on a cathode surface using weak and strong permanent magnets, placed behind the cathode. The radial magnetic flux densities...
Solar Energy Mater. Lampert 6 1 1981 10.1016/0165-1633(81)90047-2
J. Phys. Chem. Solids Hu 58 853 1997 10.1016/S0022-3697(96)00224-7
J. Vac. Sci. Technol. A Puchert 14 2220 1996 10.1116/1.580050
10.1051/jp3:1992178 A. Tiburcio-Silver, J.C. Joubert, M. Labeau, J. Phys. III France 2 (1992) 1287 (in French).
J. Mater. Sci.: Mater. Electr. Demian 5 360 1994
Mater. Chem. Phys. Benramdane 48 119 1997 10.1016/S0254-0584(97)80104-6
Thin Solid Films Saeed 271 35 1995 10.1016/0040-6090(95)06826-0
J. Appl. Phys. Roth 52 6685 1981 10.1063/1.328618
Thin Solid Films Kobayashi 266 106 1995 10.1016/0040-6090(95)06657-8
J. Appl. Phys. Quaranta 74 244 1993 10.1063/1.354152
J. Micromech. Microeng. Bak-Mikkelsen 6 63 1996 10.1088/0960-1317/6/1/013
R. Miyano, K. Kimura, K. Izumi, H. Takikawa, T. Sakakibara, Vacuum (in print).
S. Ramalingam, C.B. Qi, K. Kim, US-Patent 4,673,477, 1987.
Surf. Coat. Technol. Boxman 86/87 243 1996 10.1016/S0257-8972(96)03023-X
J. Vac. Sci. Technol. A Martin 17 2351 1999 10.1116/1.581772
H.E. Brandolf, US-Patent 4,511,593, 1985.
Thin Solid Films Takikawa 316 73 1998 10.1016/S0040-6090(98)00392-7
10.1541/ieejfms1990.119.10_1243 H. Takikawa, T. Matsui, R. Miyano, T. Sakakibara, A. Bendavid, P.J. Martin, Trans. IEE Jpn. 119A (1999) 1243 (in Japanese).
Surf. Coat. Technol. Takikawa 120/121 383 1999 10.1016/S0257-8972(99)00389-8
10.1541/ieejfms1990.114.2_117 R. Miyano, H. Takikawa, T. Sakakibara, Y. Suzuki, Trans. IEE Jpn. 114A (1994) 217 (in Japanese).
J. Phys. D: Appl. Phys. Swift 29 2025 1996 10.1088/0022-3727/29/7/041
IEEE Trans. Plasma Sci. Miller PS13 242 1985 10.1109/TPS.1985.4316413
10.1541/ieejfms1990.114.2_123 H. Takikawa, T. Fujishima, T. Sakakibara, Trans. IEE Jpn. 114A (1994) 123 (in Japanese).
J. Phys. D: Appl. Phys. Daalder 11 1667 1978 10.1088/0022-3727/11/12/005
J. Phys. D: Appl. Phys. Fang 15 833 1982 10.1088/0022-3727/15/5/013
J. Phys. E: Sci. Instrum. Swanpoel 16 1214 1983 10.1088/0022-3735/16/12/023
Hartnagel 1995 Semiconducting Transparent Thin Films
해당 논문의 주제분야에서 활용도가 높은 상위 5개 콘텐츠를 보여줍니다.
더보기 버튼을 클릭하시면 더 많은 관련자료를 살펴볼 수 있습니다.
*원문 PDF 파일 및 링크정보가 존재하지 않을 경우 KISTI DDS 시스템에서 제공하는 원문복사서비스를 사용할 수 있습니다.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.