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[해외논문] ZnO film formation using a steered and shielded reactive vacuum arc deposition

Thin solid films, v.377/378, 2000년, pp.74 - 80  

Takikawa, Hirofumi (Corresponding author. Tel.: +81-532-44-6727) ,  Kimura, Keisaku (fax: +81-532-44-6757) ,  Miyano, Ryuichi (Department of Electrical and Electronic Engineering, Toyohashi University of Technology, Toyohashi, Aichi 441-8580, Japan) ,  Sakakibara, Tateki (Department of Electrical and Electronic Engineering, Toyohashi University of Technology, Toyohashi, Aichi 441-8580, Japan)

Abstract AI-Helper 아이콘AI-Helper

AbstractZinc oxide (ZnO) thin films were prepared on a borosilicate glass substrate by a steered and shielded reactive vacuum arc deposition method. The cathode spot was driven on a cathode surface using weak and strong permanent magnets, placed behind the cathode. The radial magnetic flux densities...

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참고문헌 (27)

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