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NTIS 바로가기Nuclear instruments & methods in physics research. Section B, Beam interactions with materials and atoms, v.173 no.3, 2001년, pp.319 - 325
Kyutt, R.N (Ioffe Physicotechnical Institute, Polytechnicheskaya 26, St. Petersburg 194021, Russia) , Sobolev, Nikolai A (Ioffe Physicotechnical Institute, Polytechnicheskaya 26, St. Petersburg 194021, Russia) , Nikolaev, Yu.A (Ioffe Physicotechnical Institute, Polytechnicheskaya 26, St. Petersburg 194021, Russia) , Vdovin, V.I (Institute for Chemical Problems of Microelectronics, Moscow 109017, Russia)
AbstractErbium-doped layers have been produced on 〈111〉-oriented silicon wafers using high-energy amorphizing Er implants and solid phase epitaxy (SPE). Transmission electron microscopy (TEM) and X-ray diffraction (XRD) techniques, used to study the microstructure of these layers, reve...
10.1557/PROC-486-3 S. Coffa, A. Polman, R.A. Soref (Eds.), Materials and devices for silicon-based optoelectronics, MRS Symp. Proc., Vol. 486, 1997
Appl. Phys. Lett. Coffa 69 2077 1996 10.1063/1.116885
Appl. Phys. Lett. Sobolev 71 1930 1997 10.1063/1.119984
Appl. Phys. Lett. Csepregi 29 92 1976 10.1063/1.88980
J. Appl. Phys. Drosd 53 397 1982 10.1063/1.329901
Matare 1971 Defect Electronics in Semiconductors
Appl. Phys. Lett. Emel'anov 72 1223 1998 10.1063/1.121020
10.1557/PROC-486-139 N.A. Sobolev, A.M. Emel'anov, S.V. Gastev, P.E. Khakuashev, Yu.A. Nikolaev, M.A. Trishenkov, in: MRS Symp. Proc., vol. 486, 1998, p. 215
Phys. Solid State Kyutt 39 759 1997 10.1134/1.1129963
Hirsh 1965 Electron Microscopy of Thin Crystals
Solid State Phenomena Claverie 47-48 195 1996 10.4028/www.scientific.net/SSP.47-48.195
Philos. Mag. A Rechtin 37 605 1978 10.1080/01418617808239194
Appl. Phys. Lett. Carter 44 460 1984 10.1063/1.94766
Semiconductor Sobolev 33 613 1999 10.1134/1.1187739
J. Cryst. Growth Ayers 135 71 1994 10.1016/0022-0248(94)90727-7
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