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[해외논문] Photo-induced preparation of (Ta2O5)1−x(TiO2)x dielectric thin films using sol–gel processing with xenon excimer lamps

Applied surface science, v.168 no.1/4, 2000년, pp.13 - 16  

Kaliwoh, Never (Corresponding author. Tel.: +44-20-7419-3196) ,  Zhang, Jun-Ying (fax: +44-20-7388-9325) ,  Boyd, Ian W (Electronic and Electrical Engineering, University College London, Torrington Place, London WC1E 7JE, UK)

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AbstractWe report the growth of thin films of Ta2O5 doped with TiO2 on Si (100) substrates at low temperatures by a new photo-induced sol–gel process. Polymeric sols were formed through hydrolysis and condensation of tantalum ethoxide mixed with titanium isopropoxide. These were then spin-coa...

주제어

참고문헌 (30)

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