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[해외논문] Monte Carlo simulation of a microwave plasma in hydrogen

Journal of physics. D, applied physics, v.33 no.24, 2000년, pp.3214 - 3222  

Rau, Hans (Wildbacher Muehle 21, 52074 Aachen, Germany)

Abstract AI-Helper 아이콘AI-Helper

Monte Carlo simulations of a microwave plasma (frequency 2.45 GHz, pressure 2-15 kPa) in hydrogen are reported. The simulation follows the chaotic motion of a number of electrons and ions under the influence of outer (microwave) and inner (other charge carriers) electric fields. The charge carriers ...

참고문헌 (26)

  1. 1993 10.1088/0022-3727/26/8/016 26 1260 0022-3727 J. Phys. D: Appl. Phys. Rau H 

  2. 1993 10.1016/0925-9635(93)90138-R 2 25 0925-9635 Diamond Related Mater. Koemtzopoulos C R 

  3. 1994 10.1117/12.187340 2286 186 0277-786X Proc. SPIE - Int. Soc. Opt. Eng. Coe S E 

  4. 1994 10.1007/BF01465741 14 87 0272-4324 Plasma Chem. Plasma Process. St-Onge L 

  5. Hyman, E., Tsang, K., Drobot, A., Lane, B., Casey, J., Post, R.. One-point numerical modeling of microwave plasma chemical vapor deposition diamond deposition reactors. Journal of vacuum science & technology. A, Vacuum, surfaces, and films, vol.12, no.4, 1474-1479.

  6. 1995 5 103 0960-0175 J. Moscow Phys. Soc. Lebedev Yu A 

  7. 1995 10.1088/0963-0252/4/3/018 4 482 0963-0252 Plasma Sources Sci. Technol. Wouters M J 

  8. 1996 5 20 J. Chem. Vap. Depos. Scott C D 

  9. 1998 10.1088/0022-3727/31/16/010 31 2004 0022-3727 J. Phys. D: Appl. Phys. Wouters M J 

  10. 1999 10.1088/0022-3727/32/6/015 32 688 0022-3727 J. Phys. D: Appl. Phys. Chen Ch K 

  11. 1989 10.1088/0022-3727/22/11/017 22 1680 0022-3727 J. Phys. D: Appl. Phys. Loureiro J 

  12. 1994 Bird G A 

  13. Vahedi, V., Surendra, M.. A Monte Carlo collision model for the particle-in-cell method: applications to argon and oxygen discharges. Computer physics communications, vol.87, no.1, 179-198.

  14. 1977 10.1016/0021-9991(77)90099-7 25 205 0021-9991 J. Comput. Phys. Takizuka T 

  15. 1996 Press W H 

  16. Buckman, S. J., Phelps, A. V.. Vibrational excitation of D2 by low energy electrons. The Journal of chemical physics, vol.82, no.11, 4999-5011.

  17. Shyn, T. W., Cho, S. Y.. Angular distribution of electrons elastically scattered from hydrogen atoms. Physical review. A, General physics, vol.40, no.3, 1315-1320.

  18. 1971 62 Venugopalan M 

  19. Mahan, A. H., Gallagher, A., Smith, S. J.. Electron impact excitation of the3S,3P, and3Dstates of H. Physical review. A, General physics, vol.13, no.1, 156-166.

  20. Allis, W. P., Brown, Sanborn C.. High Frequency Electrical Breakdown of Gases. Physical review, vol.87, no.3, 419-424.

  21. 1984 Warnatz J 

  22. Zhu, Yi-Fei, Huang, Yu-Lin, Arepalli, Sivaram, Gordon, Robert J.. The production of vibrationally excited hydrogen molecules. Journal of applied physics, vol.67, no.2, 604-610.

  23. Leu, M. T., Biondi, Manfred A., Johnsen, R.. Measurements of Recombination of Electrons withH3+andH5+Ions. Physical review. A, General physics, vol.8, no.1, 413-419.

  24. 1959 10.1039/TF9595502152 55 2152 0014-7672 Trans. Faraday Soc. Green M 

  25. 1962 66 1094 0021-9606 J. Chem. Phys. Wood B J 

  26. 1991 10.1021/la00060a016 7 2999 Langmuir Kim Y C 

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