[논문]Deposition and Characterization of Ru Thin Films Prepared by Metallorganic Chemical Vapor Deposition

Sang Yeol, Kang; Kook Hyun, Choi; Seok Kiu, Lee; Cheol Seong, Hwang; Hyeong Joon, Kim

doi:10.3938/jkps.37.1040

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[국내논문] Deposition and Characterization of Ru Thin Films Prepared by Metallorganic Chemical Vapor Deposition

Journal of the Korean Physical Society, v.37 no.6, 2000년, pp.1040 -

Sang Yeol, Kang , Kook Hyun, Choi , Seok Kiu, Lee , Cheol Seong, Hwang , Hyeong Joon, Kim

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