선택한 단어 수는 입니다.
최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
선택한 단어 수는 30입니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
AI-Helper
연합인증
연합인증 가입 기관의 연구자들은 소속기관의 인증정보(ID와 암호)를 이용해 다른 대학, 연구기관, 서비스 공급자의 다양한 온라인 자원과 연구 데이터를 이용할 수 있습니다.
이는 여행자가 자국에서 발행 받은 여권으로 세계 각국을 자유롭게 여행할 수 있는 것과 같습니다.
연합인증으로 이용이 가능한 서비스는 NTIS, DataON, Edison, Kafe, Webinar 등이 있습니다.
한번의 인증절차만으로 연합인증 가입 서비스에 추가 로그인 없이 이용이 가능합니다.
다만, 연합인증을 위해서는 최초 1회만 인증 절차가 필요합니다. (회원이 아닐 경우 회원 가입이 필요합니다.)
연합인증 절차는 다음과 같습니다.
최초이용시에는
ScienceON에 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 로그인 (본인 확인 또는 회원가입) → 서비스 이용
그 이후에는
ScienceON 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 서비스 이용
연합인증을 활용하시면 KISTI가 제공하는 다양한 서비스를 편리하게 이용하실 수 있습니다.
이는 여행자가 자국에서 발행 받은 여권으로 세계 각국을 자유롭게 여행할 수 있는 것과 같습니다.
연합인증으로 이용이 가능한 서비스는 NTIS, DataON, Edison, Kafe, Webinar 등이 있습니다.
한번의 인증절차만으로 연합인증 가입 서비스에 추가 로그인 없이 이용이 가능합니다.
다만, 연합인증을 위해서는 최초 1회만 인증 절차가 필요합니다. (회원이 아닐 경우 회원 가입이 필요합니다.)
연합인증 절차는 다음과 같습니다.
최초이용시에는
ScienceON에 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 로그인 (본인 확인 또는 회원가입) → 서비스 이용
그 이후에는
ScienceON 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 서비스 이용
연합인증을 활용하시면 KISTI가 제공하는 다양한 서비스를 편리하게 이용하실 수 있습니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기
Perturbation analysis of sheath evolution, with application to plasma source ion implantation
Journal of physics. D, applied physics, v.34 no.3, 2001년, pp.326 - 329
Bektursunova, Rimma M (Department of Physics, The Middle East Technical University, Ankara 06531, Turkey) , Demokan, Ordal (Department of Physics, The Middle East Technical University, Ankara 06531, Turkey)
Abstract
AI-Helper
A perturbation model has been developed to describe the evolution of an expanding plasma sheath around a cathode after a high-voltage negative pulse is applied to the cathode, simulating the conditions in devices such as those used for plasma source ion implantation. The set of governing equations c...
참고문헌 (16)
-
Conrad J R
-
Malik, Shamim M.. Overview of plasma source ion implantation research at University of Wisconsin-Madison. Journal of vacuum science & technology. processing, measurement, and phenomena : an official journal of the American Vacuum Society. B, Microelectronics and nanometer structures, vol.12, no.2, 843-.
-
Shamim, M., Scheuer, J. T., Conrad, John R.. Measurements of spatial and temporal sheath evolution for spherical and cylindrical geometries in plasma source ion implantation. Journal of applied physics, vol.69, no.5, 2904-2908.
-
Malik, Shamim M., Fetherston, R. P., Conrad, J. R.. Development of an energetic ion assisted mixing and deposition process for TiNx and diamondlike carbon films, using a co-axial geometry in plasma source ion implantation. Journal of vacuum science & technology. A, Vacuum, surfaces, and films, vol.15, no.6, 2875-2879.
-
1970 10.1063/1.1692823 13 2532 0031-9171 Phys. Fluids Widner M
-
1970 37 2 0022-5355 J. Vac. Sci. Technol. Chester J K
-
Lieberman, M. A.. Model of plasma immersion ion implantation. Journal of applied physics, vol.66, no.7, 2926-2929.
-
Scheuer, J. T., Shamim, M., Conrad, J. R.. Model of plasma source ion implantation in planar, cylindrical, and spherical geometries. Journal of applied physics, vol.67, no.3, 1241-1245.
-
Emmert, G. A., Henry, M. A.. Numerical simulation of plasma sheath expansion, with applications to plasma-source ion implantation. Journal of applied physics, vol.71, no.1, 113-117.
-
Stewart, R. A., Lieberman, M. A.. Model of plasma immersion ion implantation for voltage pulses with finite rise and fall times. Journal of applied physics, vol.70, no.7, 3481-3487.
-
Conrad, J. R.. Sheath thickness and potential profiles of ion-matrix sheaths for cylindrical and spherical electrodes. Journal of applied physics, vol.62, no.3, 777-779.
-
1971 10.1063/1.1693433 14 339 0031-9171 Phys. Fluids Andrews J G
-
1963 10.1063/1.1710971 6 1479 0031-9171 Phys. Fluids Su C H
-
Bektursunova, Rimma M., Graham, William G.. Asymptotic layer-type model of high pressure direct current glow discharge in electronegative gases. Journal of applied physics, vol.88, no.4, 1760-1764.
-
Bektursunova, Rimma M.. Asymptotic theory of spherical electrostatic probes in large Debye length plasmas containing negative ions. Physics of plasmas, vol.6, no.12, 4773-4777.
-
1964 Van Dyke M
- [본원] 대전광역시 유성구 대학로 245 한국과학기술정보연구원
- [분원] 서울시 동대문구 회기로 66 한국과학기술정보연구원
- 문의처: helpdesk@kisti.re.kr
- 전화: 080-969-4114
Copyright KISTI. All Rights Reserved.
섹션별 컨텐츠 바로가기
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.