[논문]Traceable thickness measurement of ultra-thin HfO2 films by medium-energy ion scattering spectroscopy

Kim, Kyung Joong; Kim, Tae Gun; Kwon, Ji-Hwan; Ruh, Hyun; Park, Kyungsu; Min, Won Ja

doi:10.1088/1681-7575/ab57f0

[해외논문] Traceable thickness measurement of ultra-thin HfO2 films by medium-energy ion scattering spectroscopy

Metrologia, v.57 no.2, 2020년, pp.025001 -

Kim, Kyung Joong (Division of Industrial Metrology, Korea Research Institute of Science and Standards, Daejeon 34113, Republic of Korea) , Kim, Tae Gun (Division of Industrial Metrology, Korea Research Institute of Science and Standards, Daejeon 34113, Republic of Korea) , Kwon, Ji-Hwan (Division of Industrial Metrology, Korea Research Institute of Science and Standards, Daejeon 34113, Republic of Korea) , Ruh, Hyun (Division of Industrial Metrology, Korea Research Institute of Science and Standards, Daejeon 34113, Republic of Korea) , Park, Kyungsu (K-MAC, Techno 8-ro 33, Yuseong, Daejeon 34028, Republic of Korea) , Min, Won Ja (K-MAC, Techno 8-ro 33, Yuseong, Daejeon 34028, Republic of Korea)

Abstract ▼ AI-Helper

The thicknesses of a series of ultra-thin HfO2 films were precisely determined by mutual calibration by x-ray photoelectron spectroscopy (XPS) and x-ray reflectometry (XRR) in the recent Consultative Committee for Amount of Substance (CCQM) pilot study P-190. From these well-defined reference film thicknesses, the measurement capability of medium-energy ion scattering spectroscopy (MEIS) for the thickness of HfO2 films was investigated. The film thicknesses determined by MEIS showed a small difference, within 2%, from the reference thicknesses and an offset value of 0.017 nm. The MEIS thicknesses can also be determined by mutual calibration between the transmission electron microscopy (TEM) thicknesses and the MEIS intensity ratios in the region of the substrate and HfO2 film. From linear fitting with the reference thicknesses, the MEIS thicknesses determined by mutual calibration showed a slope value of 1.011 and an offset value of 0.015 nm. As a result, MEIS can be a traceable method to determine the absolute thickness of ultra-thin HfO2 films, and a zero-offset method for application of the mutual calibration method.

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표제어: PCR

동의어: Packet Collision Rate

용어 설명 출처 목록 (6)

용어 설명: PCR은 세균 특이성이 있는 primer를 이용하여 적은 수의 세균이 있을지라도 쉽게 검출할 수 있는 유용한 방법이며, 이를 이용하여 구강 내 치면세균막이나 타액에서 직접 세균을 검출할 수 있게 되었다[8].

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