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[해외논문] Thermodynamic theory for preferred orientation in materials prepared by energetic condensation

Thin solid films, v.382 no.1/2, 2001년, pp.280 - 287  

McKenzie, D.R. (Department of Applied Physics, University of Sydney, Sydney, NSW 2006, Australia) ,  Bilek, M.M.M. (Department of Engineering, University of Cambridge, Cambridge CB2 IPZ, UK)

Abstract AI-Helper 아이콘AI-Helper

AbstractIn this paper, some general observations are made concerning the formation of preferred orientation in thin films deposited from the vapour phase, and also in the case where some of the depositing atoms or ions have greater than thermal energies. As a general principle, we postulate that the...

주제어

참고문헌 (30)

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