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NTIS 바로가기Thin solid films, v.382 no.1/2, 2001년, pp.280 - 287
McKenzie, D.R. (Department of Applied Physics, University of Sydney, Sydney, NSW 2006, Australia) , Bilek, M.M.M. (Department of Engineering, University of Cambridge, Cambridge CB2 IPZ, UK)
AbstractIn this paper, some general observations are made concerning the formation of preferred orientation in thin films deposited from the vapour phase, and also in the case where some of the depositing atoms or ions have greater than thermal energies. As a general principle, we postulate that the...
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