[논문]Surface barrier detectors using aluminum on n- and p-type silicon for α-spectroscopy

doi:10.1016/S0168-9002(00)00991-8

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[해외논문] Surface barrier detectors using aluminum on n- and p-type silicon for α-spectroscopy

Nuclear instruments & methods in physics research. Section A, Accelerators, spectrometers, detectors and associated equipment, v.459 no.1/2, 2001년, pp.200 - 205

Rahab, H. (Unité) , Keffous, A. (de Dé) , Menari, H. (veloppement de la Technologie du Silicium, 02, Bd Frantz Fanon, B.P. 399 Alger-Gare, Algeria) , Chergui, W. (Unité) , Boussaa, N. (de Dé) , Siad, M. (veloppement de la Technologie du Silicium, 02, Bd Frantz Fanon, B.P. 399 Alger-Gare, Algeria)

Abstract ▼ AI-Helper

AbstractWe describe the method by which surface barrier detectors (SBD) can be constructed from p- and n-type high-purity silicon (Si), with aluminum (Al) as a rectifying contact. This material has as properties: firm adhesivity to silicon, excellent light-tightness and low stopping power for charged particles, that are ideal for the entrance window. For the ohmic contact, we have used different metals: Al, gold (Au) plus antimony (Sb) mixture and AuSb alloy, with appropriate chemical treatment during the fabrication process. Electrical measurements have given the desired properties for the detection of charged particles. Unencapsulated SBDs show a low leakage current and an excellent long-term stability both in air and in vacuum. The energy resolution for the 5.486MeV α-particle varies from 17 to 22keV for detectors with sensitive area 20–80mm2.

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참고문헌 (10)

Solid-State Electron. Crowel 9 1035 1966 10.1016/0038-1101(66)90127-4

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Nucl. Instr. and Meth. Shiraishi 196 137 1982 10.1016/0029-554X(82)90628-0

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Mater. Res. Soc. Symp. Proc. Walton 16 141 1983 10.1557/PROC-16-141

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Nucl. Instr. and Meth. Mathew 49 245 1967 10.1016/0029-554X(67)90692-1

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Sov. Phys. Maksimo 1 7 867 1968
Nucl. Instr. and Meth. Dearnaley 12 205 1961 10.1016/0029-554X(61)90138-0

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T. Lyman (Ed.), Metals Handbook Metallography, Structures and Phases Diagrams, 8 Edition, American Society for Metals, Cleveland, OH, 1973.
10.1063/1.356425 J.H. Werner, Uwe Spadaccini, J. Appl. Phys. 75(2) (1994)994.

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A.Coche, P.Siffert, Semiconductor detectors, N.H.P.C 68.
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