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[해외논문] Multifocal microlens arrays using multilayer photolithography 원문보기
Optics express, v.28 no.7, 2020년, pp.9082 -
Bae, Sang-In , Kim, Kisoo , Yang, Sungpyo , Jang, Kyung-won , Jeong, Ki-Hun
Abstract
AI-Helper
We report a new microfabrication method of multifocal microlens arrays (MF-MLAs) for extended depth-of-field (DoF) using multilayer photolithography and thermal reflow. Microlenses of different focal lengths were simultaneously fabricated on a single glass wafer by using repeated photolithography wi...
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- DOI : 10.1364/OE.388921 [무료]
- Optica Publishing Group : 저널> 권호 > 논문 [무료]
- EBSCO Industries, Inc. : 저널
- AccessON : 저널
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