[논문]Global model for pulsed inductively coupled plasma sources: Effect of edge-to-center density ratio and electron heating

Kwon, Deuk-Chul; Yu, Dong-Hun; Kwon, Hyoungcheol; Im, Yeon Ho; Lee, Hyo-Chang

doi:10.1063/5.0006505

[해외논문] Global model for pulsed inductively coupled plasma sources: Effect of edge-to-center density ratio and electron heating

Physics of plasmas, v.27 no.7, 2020년, pp.073507 -

Kwon, Deuk-Chul (Plasma Technology Research Center, National Fusion Research Institute 1 , Gunsan, Jeonbuk 54004, South Korea) , Yu, Dong-Hun (Kwongwon Tech. Co., Ltd 2 ., Seongnam, Geonggi 13497, South Korea) , Kwon, Hyoungcheol (SK Hynix, Inc 3 ., Icheon, Geonggi 17336, South Korea) , Im, Yeon Ho (Jeonbuk National University 4 , Jeonju, Jeonbuk 54896, South Korea) , Lee, Hyo-Chang (Advanced Instrumentation Institute, Korea Research Institute of Standard and Science 5 , Daejeon 34114, South Korea)

Abstract ▼ AI-Helper

The volume-averaged global plasma model has been widely used to analyze the characteristics of plasma, although the spatial variation of plasma parameters cannot be obtained from it. It has also been used to obtain temporal plasma parameters for pulsed plasma sources. In this work, we analyzed the effect of an edge-to-center density ratio (h factor) and an electron heating model on the plasma parameters in pulsed plasma simulations using the global model for Ar discharges. In most previous pulse simulations using the global model, the h factor has been applied to pulse conditions in the same way it has been applied to radio frequency, and the power absorbed by the electrons was assumed to be equal to the applied power. However, in this work, we considered a time-varying h factor and determined the absorbed power using an analytical electron heating model, solving the spatially averaged transport equations in a self-consistent manner. We found that a decreased h factor increases the plasma density and consequently changes the time dependence of the electron temperature. In addition, the overshoot of the electron temperature is limited at the beginning of the pulse power-on in the self-consistent electron heating model. Our results are of great relevance with respect to the analysis of plasma parameters.

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표제어: PCR

동의어: Packet Collision Rate

용어 설명 출처 목록 (6)

용어 설명: PCR은 세균 특이성이 있는 primer를 이용하여 적은 수의 세균이 있을지라도 쉽게 검출할 수 있는 유용한 방법이며, 이를 이용하여 구강 내 치면세균막이나 타액에서 직접 세균을 검출할 수 있게 되었다[8].

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