[논문]A novel method for simultaneous measurement of thickness, refractive index, bow, and warp of a large silicon wafer using a spectral-domain interferometer

Park, Jungjae; Bae, Jaeseok; Jang, Yoon-Soo; Jin, Jonghan

doi:10.1088/1681-7575/aba16b

[해외논문] A novel method for simultaneous measurement of thickness, refractive index, bow, and warp of a large silicon wafer using a spectral-domain interferometer

Metrologia, v.57 no.6, 2020년, pp.064001 -

Park, Jungjae , Bae, Jaeseok , Jang, Yoon-Soo , Jin, Jonghan

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용어 설명: PCR은 세균 특이성이 있는 primer를 이용하여 적은 수의 세균이 있을지라도 쉽게 검출할 수 있는 유용한 방법이며, 이를 이용하여 구강 내 치면세균막이나 타액에서 직접 세균을 검출할 수 있게 되었다[8].

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