[논문]Spectrally resolved polarizing interferometer for single-shot line profiling

Park, Hyo Mi; Kwon, Ui Hyeok; Ghim, Young-Sik; Joo, Ki-Nam

doi:10.1364/ao.408594

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[해외논문] Spectrally resolved polarizing interferometer for single-shot line profiling

Applied optics, v.59 no.32, 2020년, pp.10107 -

Park, Hyo Mi , Kwon, Ui Hyeok , Ghim, Young-Sik , Joo, Ki-Nam

Abstract ▼ AI-Helper

In this investigation, we describe a spectrally resolved polarizing interferometer to modify the typical spectrally resolved interferometer based on the Fourier method, which has a dead zone caused by the minimum measurable range. By use of a polarization pixelated CMOS camera, which enables us to obtain spatially phase-shifted spectral interferograms, the spectral phase can be extracted with a single image, and the proposed interferometer can obtain a line profile of a specimen at once. By the nature of phase-shifting technique, moreover, the directions of the measured distances can be identified, and the measuring range is extended to twice that of the typical spectrally resolved interferometer. In the experimental results, the measuring range was 104 µm, and the capability to obtain a line profile of a specimen with a single image was confirmed. For 3D surface profiling, lateral scanning was adopted, and the measurement results were compared with the result of the Fourier method.

참고문헌 (12)

Opt. Lett. Schwider 19 995 1994 10.1364/OL.19.000995

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Opt. Express Ghim 14 11885 2006 10.1364/OE.14.011885

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Appl. Phys. Lett. Ghim 91 091903 2007 10.1063/1.2776015

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Opt. Express Joo 14 5954 2006 10.1364/OE.14.005954

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Meas. Sci. Technol. Joo 26 095204 2015 10.1088/0957-0233/26/9/095204

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Meas. Sci. Technol. Yun 27 035004 2016 10.1088/0957-0233/27/3/035004

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Appl. Phys. Lett. Park 109 244103 2016 10.1063/1.4971836

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Opt. Laser Eng. Debnath 47 1125 2009 10.1016/j.optlaseng.2009.06.014

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Appl. Opt. Debnath 45 8636 2006 10.1364/AO.45.008636

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Pure Appl. Opt. Schnell 4 643 1995 10.1088/0963-9659/4/5/016

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Appl. Opt. Novak 44 6861 2005 10.1364/AO.44.006861

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Opt. Eng. Schwider 32 1883 1993 10.1117/12.143340

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