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Static and Dynamic Accuracy Analysis of FIB-SEM Multifunctional Machine Structure
FIB-SEM 복합 구조물의 정적․동적 정밀도 해석에 관한 연구

한국생산제조학회지 = Journal of the Korean Society of Manufacturing Technology Engineers, v.28 no.1, 2019년, pp.17 - 22  

Lee, Tae Hong ,  Maeng, Heeyoung

초록이 없습니다.

참고문헌 (11)

  1. Taniguchi, N., 1996, Nanotechnology - Integrated Processing Systems for Ultra-Precision and Ultra-fine Products, Oxford Univ. Press., London 

  2. 10.1007/978-3-662-05287-7 

  3. Maeng, H. Y., Kim, S. G., 2005, Design and Modal Analysis of FIB-SEM Compound Machine Structure, Proceedings of KSMTE Spring conference, 14-19 

  4. Reyntjens, Steve, Puers, Robert. A review of focused ion beam applications in microsystem technology. Journal of micromechanics and microengineering.: structures, devices, and systems, vol.11, no.4, 287-300.

  5. 10.1109/ICSMA.2008.4505557 Chun, D. M., Kim, M. H., Lee, J. C., Ahn, S. H., 2008, A Nano Particle Deposition System for Ceramic and Metal Coating at Room Temperature and Low Vacuum Conditions, International Journal of Precision Engineering and Manufacturing, 9:1 51-53 

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